INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 98)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Eingabe einer Filmnummer zwischen 1 und 32 neben einer Layernummer, gefolgt
mit der Enter Taste, setzt den gewünschten Film in diese Layer-Schicht. Wenn eine
Filmnummer vorher eingegeben war, wird dieser Film ersetzt. Eingabe einer 0
löscht den gewählten Film und schiebt alle folgenden Filme nach oben. Ein Film
kann in eine bestehende Reihenfolge eingefügt werden indem man den Cursor
zum gewünschten Layer bewegt und dann die Pfeil-Rechts Taste betätigt. Damit
wird die Layerliste nach unten verschoben um den neuen Layer einzufügen. Die
neue Filmnummer wird mit der Tastatur eingegeben, gefolgt mit "Enter". Betätigen
der "Clear" Taste widerruft die Layereinfügung. Wenn der Film einen Namen hat,
erscheint der Filmnamen in der Liste, wenn nicht, die Filmnummer.
4.4 General Parameter
Abbildung 4-12 Haupt Menu Anzeige XTC/3M
HINWEIS: Die "Prozess Liste" Zeile ist nicht im XTC/3S.
Die "General Parameter" Anzeige erscheint nach betätigen der MENU Taste, dann
Cursor zu “General Parameter” bewegen und MENU Taste betätigen.
Die "General Parameter" Anzeige ist unterteilt in:

Process,
 Hardware, und
 Comm(unications) Info Anzeigen.
Die Pfeil Auf und Ab Tasten bewegen den Cursor von Parameter zu Parameter. Die
Pfeil links und rechts Tasten bewegen den Cursor hin und her zwischen der
Wahltafel und der Parametertafel. In den meisten Fällen kann der Wert mittels der
TOGL Taste von einer Liste ausgewählt werden. In anderen Fällen werden
numerische Tastatur und ENTER Taste benutzt.
XTC/3M
Operate
Film Parameter
Process List
General Parameter
I/O Map
Diagnostics
Sensor
83.4
Å/S
428.3
KЕ
29.8
%