INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 74)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Wenn Position 1 nicht gefunden wird oder nach 12 Pulsen mit dem falschen Wert,
erscheint die "Crystal Sw Fail" Meldung. In diesem Fall werden auch alle Quarze
als Failed-ausgefallen angezeigt.
Wenn das Karussell vom Sensor abgenommen wird um Quarze auszuwechseln,
erscheint die "Carousel Open-Karussell Offen" Meldung. DIese Meldung erscheint
auch falls die Verbindung vom XIU (Oszillator) und dem Sensor fehlt. Nachdem
das Karussell wieder installiert ist, nimmt das XTC/3 den Zustand ein als ob der
Sensor jetzt in Position 12 steht und dass alle Quarze ausgefallen sind. Eine
"Crystal Switch-Quarzwechsel" oder "Rotate Head-Rotieren" Funktion muss von
der Sensor Anzeige oder über die Kommunikationschnittstelle ausgelöst werden
damit das XTC/3 den Status von allen Quarzen erfassen und nach Position 1
rückkehren kann. Diese Aktion ist auch notwendig nachdem der Sensortyp auf
Crystal12 gewechselt wurde. Die "Rotate Head" Funktion ist nur in "Ready" oder
"Idle" am Ende eines Prozess erlaubt.
Während der Aufdampfung wechselt das XTC/3 automatisch zur nächsten Position
mit einem "guten" Quarz wenn ein Quarzausfall aufkommt. Wenn der letzte "gute"
Quarz ausfällt, geht das XTC/3 direkt in den Time Power oder STOP Status, je
nachdem wie konfiguriert.
Wenn das Gerät für einen Crystal12 konfiguriert ist, schließen die Relaiskontakte
nur für eine Sekunde, dann öffnen sie wieder für eine Sekunde für jede Position.
Es gibt keine Zwischenposition wie beim CrystalSix.
3.6.8.4 Rotary Sensor (RSH Sensor) Quarzwechsel
Die "Rotary" Sensor Konfiguration erlaubt Quarzwechsel für nur sechs Positionen
in Reihenfolge. Bei einem Quarzwechsel schließt der Quarzwechselausgang -
Crystal Switch für eine Sekunde und öffnet dann (d.h., ein Puls für eine Position);
es gibt keine Zwischenposition. Das XTC/3 speichert weder in welcher Position der
Sensor ist noch wie viele Quarze gut oder ausgefallen sind. Alle Quarze werden
nach einem Start Befehl als Gut eingestuft. Nach dem Ein-Sekunden Puls sucht
das XTC/3 die Resonanzfrequenz für den Quarz in dieser Position. Wenn das
XTC/3 in Deposit ist und keine gute Resonanzfrequenz für diesen Quarz findet,
pulst es den Quarzwechselausgang für eine Sekunde und sucht eine
Resonanzfrequenz an der neuen Position. Es macht ein Maximum von fünf
Versuchen eine gute Resonanzfrequenz zu finden, (d.h. ein Maximum von fünf
Pulsen des Quarzwechselausgangs). Falls eine gute Resonanzfrequenz nicht
nach fünf Versuchen gefunden wird, geht das XTC/3 in den Time Power oder
STOP Status je nachdem ob Time Power Option auf Yes oder No gesetzt ist.