INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 182)

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IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
Abbildung 6-3 Standard Crystal Sensor (Explodiert)
6.4.2 Sensoren mit Blende und Doppelsensoren
Der Austausch des Quarzes erfolgt bei den Sensoren mit Blende genauso wie bei
den Sensoren ohne Blende oder wie bei den Kompaktsensoren, da im
Ruhezustand die Blende von der Quarzöffnung wegschwenkt.
STANDARD Quarz HOLDER
IPN 750-172-G1
Quarz
IPN 008-010-G10
FULLY COATED FACE (GOLD)
Quarz RETAINER
IPN 007-023
FINGER SPRING
CONTACT
STANDARD Quarz SENSOR BODY
IPN 750-207-G1
IPN 750-171-P1
IN-VACUUM
CABLE TO XIU
WATER TUBES