INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
Seite 163
6 - 3
IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
NO BACKUP CRYSTAL - Kein Reservequarz
Es wird versucht eine Schicht zu starten und im Sensor sind keine gute
Reservequarze vorhanden. Diese Nachricht erscheint außer ’Start without
Backup’ - ’Start ohne Reserve’ ist aktiviert.
NO GOOD XTAL TO SW - Kein guter Quarz zu wechseln
Es sind keine guten Quarze vorhanden zu denen gewechselt werden kann.
NO MANUAL XTAL FAIL - Kein Manuell Quarzausfall
Manuelle Betriebsart kann nicht verwendet werden.
NO MANUAL IN STOP - Kein Manuell in Stop
Manuelle Betriebsart kann nicht verwendet werden.
NO MANUAL IN IDLE - Kein Manuell in Idle
Manuelle Betriebsart kann nicht verwendet werden.
NO OUTPUT FOR SW- Kein Ausgang für Quarzwechsel
Die Rotieren- oder Quarzwechselfunktion kann nicht vollzogen werden wenn
kein Ausgang für die Funktion programmiert ist.
NO SWITCH SINGLE - Kein Wechsel, Einzelsensor
Eine Quarzwechselfunktion kann an einem Einzelsensor nicht ausgeführt
werden.
NON-DEP HOLD - Nicht-Deposit Halt
Bedeutet dass der Non-Dep Hold Eingang aktiviert ist und die Schicht im
Nicht-Deposit Halt Status bleibt wenn die Schicht nicht schon in Deposit oder
Shutter Delay - Blendenverzögerung ist.
NOT RELAY OUTPUT - Nicht Relais Ausgang
Diese Nachricht erscheint wenn versucht wird einen TTL Ausgang in der
Relais Anzeige zu ändern.
NOT TTL OUTPUT - Nicht TTL Ausgang
Diese Nachricht erscheint wenn versucht wird einen Relais Ausgang in der
TTL Anzeige zu ändern.
ONE SEL PROC ONLY - Nur ein Sel Prozess zu wählen
Diese Nachricht erscheint wenn versucht wird mehr als einen Select Process
(x) - Prozess(x) Wählen zu programmieren.
ONE WIRE READ FAIL - Lesefehler
(Diagnostic Anzeige) Mit INFICON Reparaturabteilung Kontakt aufnehmen.
PARAMETER DEFAULT - Parameter Rücksetzung
Bedeutet die Gerätparameter wurden auf ihre Standardwerte zurückgesetzt.
Jegliche zuvor programmierte Werte wurden auf ihre Standardwerte geändert.
POWER LOSS - Netzstromverlust
Bedeutet das Gerät verlor Netzstrom vor dem aktuellen Einschaltzyklus.