INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 169)

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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
6.3.1 Fehlersuche am Instrument
Tabelle 6-1 Fehlersuche am Instrument
SYMPTOM URSACHE BEHEBUNG
1. Power An LED nicht
beleuchtet a. Sicherung
durchgebrannt/ausgelöst. a. Sicherung oder
Sicherungsautomaten
durch einen qualifizierten
Techniker ersetzen lassen.
b. Netzleitung nicht am
Gerät oder
an der Netzdose
angeschlossen. b. Netzleitung anschließen
c. Falsche Netzspannung c. durch einen qualifizierten
Techniker prüfen lassen.
2. Gerät „hängt sich
auf“. a. Abdeckbleche oder
Rückseitenbleche sind
nicht am Gerät befestigt. a. Sicherstellen, dass alle
Abdeckbleche vorhanden und
befestigt sind.
b. Hoher elektrischer
Störpegel in
der Umgebung. b. Die Leitungen anders verlegen,
so dass weniger Störungen
aufgenommen werden (schon ein
Abstand von ca. 30 cm von
Leitungen, in denen hohe Ströme
fließen, führen zu einer deutlichen
Verringerung der aufgenommenen
Störungen), alle Erdleitungen so
kurz wie möglich und mit einer
möglichst großen Oberfläche
ausführen. Dieses minimiert die
Impedanz nach Masse.
c. Schlechte Erdung oder
schlecht durchgeführtes
Erdungsverfahren. c. Prüfen, ob eine ordentliche
Erdung vorhanden ist,
entsprechende Erdleitung
verwenden, durch richtige Erdung
des Systems Erdschleifen
vermeiden, sicherstellen, dass das
Gerät ordnungsgemäß geerdet ist.