INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 219)

A - 9
IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
ZrN 7.090 *1.000 Zirkonnitrid
ZrO
2
5.600 *1.000 Zirkonoxid
Tabelle A-1 Materialtabelle (fortgesetzt)
Formel Dichte Z-Ratio Materialbezeichnung