INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 75)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
3.6.8.5 Dual Head-Doppelsensor
Nur Sensor 1 kann als Dual Head konfiguriert werden, (750-212-G2 Dual Sensor
mit zweitem XIU). Der Sensor Shut 1 Ausgang muss verdrahtet werden so dass er
das Pneumatic Shutter Actuator Control Valve-Blendenkontrollventil mit Strom
versorgt. Dieses Ventil liefert den Luftdruck der den Blendenmechanismus für den
Doppelsensor aktiviert so dass Quarz #2 (Sensor 2) aufgedeckt wird während
Quarz #1 (Sensor 1) zugedeckt wird. Beim Netzeinschalten wird geprüft ob der
Doppelsensor einen guten Reservequarz hat. Wenn ein Quarzausfall in Deposit
aufkommt, wechselt das Gerät weiter zu dem Reservequarz und arbeitet weiter.
Wenn ein Start Befehl nach Vollendung der Schicht versucht wird und die nächste
Schicht verwendet denselben Sensor, wird der Start Befehl nicht angenommen
(außer "Start Without Backup"-Start ohne Reservequarz ist auf Yes gesetzt), und
die Meldung "No Backup Crystal" erscheint. Der Crystal Fail-Quarzausfall Status
kann durch die TOGL Taste in der Sensors Anzeige mit dem Cursor auf "Switch
Crystals" gelöscht werden, durch die XTSW Taste auf der Frontplatte, durch Aus-
und wieder Einschalten gefolgt von RESET oder START oder auch über
Kommunikationsbefehle R14 (Quarzwechsel) oder R26 (Clear All Crystals). Ein
guter Reservequarz muss in allen Fällen vorhanden sein.
Die RateWatcher Funktion ist außer Kraft in der Dual Head Konfiguration aber die
Transfer Sensor Funktion ist erlaubt.
3.6.8.6 XTC/3S Sensorblende / CrystalSwitch Ausgang
Wegen Begrenzungen durch die festen I/O Funktionen im XTC/3S, hängt die
Funktion des Ausgangs für die Sensorblende von der Wahl des Sensortyps in der
Hardware Wahlfläche der General Parameter Anzeige ab..
Wenn ein Single Sensor gewählt ist, werden die Sensorblende- Relaiskontakte auf
inaktiv gesetzt. Die Relaiskontakte werden aktiv (öffnen der Blende) beim Eingang
in den Deposit Status, Shutter Delay-Blendenverzögerung oder Control
Delay-Regelverzögerung, oder während der Abtastperiode der RateWatcher
Funktion.
Wenn ein Multiposition Sensor gewählt ist, funktionieren die Sensorblende-
Relaiskontakte als CrystalSwitch-Quarzwechsel Relais. Die Sensorblende-
Relaiskontakte sind aktiv wenn ein CrystalSwitch-Quarzwechsel ausgelöst wird.
Wegen dieser Änderung der Relais Ausgangfunktion von der einer Sensorblende
zu der eines Quarzwechsel-CrystalSwitch, ist RateWatcher außer Kraft wenn das
XTC/3S für einen Multi-position Sensor konfiguriert ist.
Im XTC/3M gibt es separate Optionen für Sensorblende und Quarzwechsel so
dass RateWatcher und Multi-position Sensoren gleichzeitig unterstützt werden
können.