A - 6 – INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
Seite 216
A - 6
IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
NiO
7.450
*1.000
Nickeloxid
P
3
N
5
2.510
*1.000
Phosphornitrid
Pb
11.300
1.130
Blei
PbCl
2
5.850
*1.000
Bleichlorid
PbF
2
8.240
0.661
Bleifluorid
PbO
9.530
*1.000
Bleioxid
PbS
7.500
0.566
Bleisulfid
PbSe
8.100
*1.000
Bleiselenid
PbSnO
3
8.100
*1.000
Bleistannat
PbTe
8.160
0.651
Bleitellurid
Pd
12.038
0.357
Palladium
PdO
8.310
*1.000
Palladiumoxid
Po
9.400
*1.000
Polonium
Pr
6.780
*1.000
Praseodym
Pr
2
O
3
6.880
*1.000
Praseodymoxid
Pt
21.400
0.245
Platin
PtO
2
10.200
*1.000
Platinoxid
Ra
5.000
*1.000
Radium
Rb
1.530
2.540
Rubidium
RbI
3.550
*1.000
Rubidiumjodid
Re
21.040
0.150
Rhenium
Rh
12.410
0.210
Rhodium
Ru
12.362
0.182
Ruthenium
S
8
2.070
2.290
Schwefel
Sb
6.620
0.768
Antimon
Sb
2
O
3
5.200
*1.000
Antimontrioxid
Sb
2
S
3
4.640
*1.000
Antimontrisulfid
Sc
3.000
0.910
Scandium
Sc
2
O
3
3.860
*1.000
Scandiumoxid
Se
4.810
0.864
Selen
Si
2.320
0.712
Silizium
Si
3
N
4
3.440
*1.000
Siliziumnitrid
SiC
3.220
*1.000
Siliziumkarbid
Tabelle A-1 Materialtabelle (fortgesetzt)
Formel Dichte
Z-Ratio
Materialbezeichnung