INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 200)

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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
Resonatoren vom „AT“-Typ werden normalerweise zur Überwachung des
Aufdampfvorganges eingesetzt, weil diese so hergestellt werden können, dass sie
bei Zimmertemperatur im Falle von Temperaturänderungen nur eine sehr kleine
Frequenzänderung aufweisen. Da es zur Zeit keine Möglichkeit gibt zwischen einer
Frequenzverringerung, die durch eine Massenvergrößerung bedingt wird, einer
Frequenzänderung, die durch Temperaturgradienten innerhalb des Quarzes
hervorgerufen wird oder schichtabhängigen mechanischen Belastungen zu
unterscheiden, ist es sehr wichtig, die temperaturbedingten Frequenzänderungen
zu minimieren. Nur dadurch ist es möglich kleine Massenänderungen genau zu
messen.
Abbildung 8-3 Dickenscherungsmodus
8.1.2 Periodendauermessung
Obwohl Geräte, deren Funktion auf Gleichung [2] beruhte, sehr nützlich waren,
wurde jedoch bald festgestellt, dass deren Genauigkeitsbereich sehr begrenzt war.
Ein
 F ließ sich typischerweise nur mit einer Genauigkeit von weniger als 0,02 F
q
erreichen. In 1961 stellte Behrndt
4
fest dass:
[3]
wobei T
c
und Tq die Periodendauern des beschichteten bzw. nackten Quarzes
sind. Zwei Faktoren führten zur Bevorzugung der Methode der
Periodendauermessung. Erstens, die digitale Möglichkeit der Zeitmessung, und
zweitens die Erkenntnis des mathematisch festen Zusammenhangs der
Verschiebungsknoten
X
X
X
2
1
3
E
4.K. H. Behrndt, J. Vac. Sci. Technol. 8, 622 (1961)
M
f
M
q
-------
T
c
T
q
–  
T
q
----------------------
F   
F
c
----------- = =