INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 18)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
1.4 XTC/3 Spezifikationen
1.4.1 Messverfahren
Quarz Frequenz . . . . . . . . . . . . . . . . 6.0 MHz nom. (neuer Quarz) bis 5.0 MHz
Interne Präzision . . . . . . . . . . . . . . . 0.028 Hz über 250 ms Abtastperiode
Auflösung für Schichtdicke
und Aufdampfrate. . . . . . . . . . . . . . . 0.034 Å neuer Quarz) über
250 ms Abtastperiode für
Material Dichte = 1.0, Z-Ratio = 1.0
Schichtdickengenauigkeit. . . . . . . . . typisch 0,5% (abhängig von den
Prozessbedingungen, insbesondere dem
Einbauort des Sensors, der
Materialbeanspruchung, der Temperatur und
der Dichte))
Frequenzgenauigkeit . . . . . . . . . . . . ± 2.5 ppm 0-50 °C
Messfrequenz. . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 Hz
Messverfahren . . . . . . . . . . . . . . . . . ModeLock
Benutzerschnittstelle . . . . . . . . . . . . TFT LCD und vereinfachte Folientastatur.
Alle Parameter lassen sich pro
Rechnerkommunikation ein- bzw. ausgeben.
Mehrfach-Anzeigefelder zur Statusanzeige
und detaillierte Anzeige anormaler
Bedingungen und solcher Bedingungen, die
zum Abschalten führen.
1.4.2 Anzeige und Parameter
Navigation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Menu Taste um zwischen Anzeigen
navigieren. Vier Cursor-Tasten um zwischen
Parameter auf Anzeigen zu navigieren.
Struktur. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Getrennte LCD-Darstellungen für:
1) Operate Datenanzeige
2) Film (Schicht) Parameter
3) Prozess Liste (nur XTC/3M)
4) General Parameter
5) I/O Map (Input-Eingang/Output-Ausgang
Übersicht)
6) Diagnostik
7) Sensor