INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 67)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
3.5.1 Alarme und Stops
Es gibt eine Anzahl von ungewöhnlichen Gerätezuständen die möglicherweise
vom Benutzer beachtet werden müssen. Diese Situationen werden vom Gerät
erkannt und dann als ALARM oder STOP behandelt. Sowie ALARM und STOP
können mit separaten Relaisschließungen erkannt werden (Standard oder
ausgewählt im XTC/3M, mit festen Zuordnungen im XTC/3S). Ein ALARM Zustand
ist nicht fatal, das Gerät bearbeitet den Layer oder Prozess weiter bis zum
normalen Prozessende. Ein STOP ist fatal, wobei der Prozess sofort hält. Wenn
gewünscht, kann der Benutzer den STOP ON ALARM Parameter in der
Prozesswahlfläche der General Parameter Anzeige auf Yes setzen so dass das
Gerät einen ALARM gleich einem STOP behandelt (D.h. der Prozess wird
angehalten wenn ein abnormaler Zustand erkennt wird).
Non-Dep Hold
Halten in Vor-Nach
Deposit Phase
(nur M) Diese Eigenschaft “haltet” die Statusuhr während jedem Nicht-Deposit
Status. Nicht-Deposit Statusse enthalten die Vor-Deposit Phasen: Ready,
Crucible Switch, Rise 1, Soak 1, Rise 2, Soak 2; und die Nach-Deposit
Phasen: Idle Rampe und Idle. Um Non-Dep Hold zu aktivieren, muss die
Statuszeit ungleich Null sein. Die Meldung NON-DEP HOLD erscheint.
Falls das Gerät im READY oder IDLE Status ist und ein START Befehl
wird verarbeitet während NON-DEP HOLD aktiv ist, geht das Gerät zum
ersten Vor-Deposit Status mit Nicht-Null Statuszeit. Wenn das Gerät im
Tiegelwechsel Status ist und auf den Cruc Valid Eingang wartet, und
NON-DEP HOLD ist aktiviert wenn der Cruc Valid Eingang aktiviert wird,
geht das Gerät zum nächsten Vor-Deposit Status mit einer Nicht-Null
Statuszeit. Das Gerät kann keine weitere Statusse bearbeiten bis die
Non-Dep Hold Funktion beendet wird.
Zero Film Time
Filmzeit Nullen
(nur M) Ein HIGH-LOW Flankensignal setzt die Layer Depositzeit für den Layer
unter Beschichtung zurück auf Null.
Start InhiBit (nur M) Verhindert starten eines Layer so lang der Eingang aktiv bleibt.
Soak 1 Hold
(nur M) Belegung mit Masse verlängert den SOAK 1 Status bis der Eingang
nicht mehr mit Masse belegt ist.
Film Select (S only)
Film Wählen siehe Abschnitt 4.4.2.1 auf Seite 4-23
Tabelle 3-3 Eingänge (Fortsetzung)
Eingang Funktion Beschreibung