INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 124)

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P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
5.2.2.3.2 "Standard" Query-Abfrage Film Namen (nur XTC3/M)
Befehl:
QN <Film Nummer>
Film Nummer = <Byte> 1-32
Antwort:
<Zeichenkette> (maximum 15 Zeichen, plus terminierendes Null Zeichen)
5.2.2.3.3 "Standard" Query-Abfrage Film Parameter
Befehl:
QF <Befehl ID> <Film Nummer>
Befehl ID = <Byte> siehe “Standard Befehl ID” Spalte in Tabelle 5-2 auf Seite
5-20 .
Film Nummer = <Byte> 1-9 (XTC/3S ) oder 1-32 (XTC/3M)
Antwort:
<Integer> | <Float>
Beschreibung: Antworttyp abhängig vom Befehl ID, siehe “Datentyp / Format”
Spalte von
Tabelle 5-2 auf Seite 5-20 .
Sonderfall: QF255 <Film Nummer> gibt alle Film Parameter für den genannten
Film, in numerischer Folge.
5.2.2.3.4 "Standard" Query-Abfrage General Parameter
Befehl:
QG <Befehl ID>
Befehl ID = <Byte> siehe “Standard Befehl ID” Spalte in Tabelle 5-3 auf Seite
5-24 .
Antwort:
<Integer> | <Float>
Beschreibung: Antworttyp abhängig vom Befehl ID, siehe “DataType / Format”
Spalte of
Tabelle 5-3 auf Seite 5-24 .
Sonderfall: QG255 gibt alle General Parameter, in numerischer Folge.
5.2.2.3.5 "Standard" Query-Abfrage Eingangdefinition (nur XTC/3M)
Befehl:
QI <Eingang Nummer>
Eingang Nummer = <Byte> 1-9, 255 (255=Alle 9 Eingänge)
Antwort:
Für Eingang Nummer 1 – 9: