INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 9)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
5.2.2.2 "Standard" HELLO Befehl . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9
5.2.2.3 "Standard" QUERY-ABFRAGE Befehle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10
5.2.2.3.1 Query-Abfrage Block . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10
5.2.2.3.2 "Standard" Query-Abfrage Film Namen (nur XTC3/M). . . . . . . . . . . . . . . . 5-12
5.2.2.3.3 "Standard" Query-Abfrage Film Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-12
5.2.2.3.4 "Standard" Query-Abfrage General Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-12
5.2.2.3.5 "Standard" Query-Abfrage Eingangdefinition (nur XTC/3M) . . . . . . . . . . . 5-12
5.2.2.3.6 Standard Query-Abfrage Ausgangdefinition (nur XTC/3M) . . . . . . . . . . . . 5-14
5.2.2.3.7 "Standard" Query-Abfrage Ausgangtyp Definition (Nur XTC/3M) . . . . . . . 5-17
5.2.2.3.8 "Standard" Query-Abfrage Prozess Parameter (Nur XTC/3M ) . . . . . . . . . 5-17
5.2.2.4 "Standard" Update-Aktualisieren Befehle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-18
5.2.2.4.1 Update-Aktualisieren Block . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-18
5.2.2.4.2 "Standard" Film Name Update-Aktualisieren (nur XTC/3M). . . . . . . . . . . . 5-19
5.2.2.4.3 "Standard" Film Parameter Update-Aktualisieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-19
5.2.2.4.4 "Standard" General Parameter Update-Aktualisieren . . . . . . . . . . . . . . . . 5-23
5.2.2.4.5 "Standard" Eingang Definition Update-Aktualisieren (nur XTC/3M) . . . . . . 5-26
5.2.2.4.6 "Standard" Ausgang Definition Update-Aktualisieren (nur XTC/3M) . . . . . 5-26
5.2.2.4.7 "Standard" Ausgang Typ Definition
Update-Aktualisieren (Nur XTC/3M ) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-26
5.2.2.4.8 "Standard" Prozess Parameter Update-Aktualisieren (nur XTC/3M) . . . . . 5-26
5.2.2.5 "Standard" STATUS Befehle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-27
5.2.2.6 "Standard" REMOTE-Fernbedienung Befehle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-31
5.3 XTC/2 Protokolle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-34
5.3.1 Befehl Struktur . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-34
5.3.2 "XTC2" Serielle Kommunikation mit Prüfsumme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-35
5.3.3 "XTC2" Serielle Kommunikation - Keine Prüfsumme . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-35
5.3.4 "XTC2" Fehlercode. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-35
5.3.5 "XTC2" Nachricht Zeichenketten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-36
5.3.5.1 "XTC2" ECHO Befehl . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-36
5.3.5.2 "XTC2" HELLO Befehl . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-36
5.3.5.3 "XTC2" QUERY-Abfrage Befehl . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-36
5.3.5.4 "XTC2" UPDATE-Aktualisieren Befehl . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-39
5.3.5.5 "XTC2" REMOTE - Fernbedienung Befehle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-44
5.3.5.6 "XTC2" Beispiel Host Programme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-46
5.3.5.6.1 "XTC2" Programm Ohne CHECKSUM. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-46
5.3.5.6.2 "XTC2" Programm mit CHECKSUM. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-47