INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 10)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Kapitel 6
Fehlersuche, Status- und Fehlermeldungen
6.1 Status und Fehlermeldungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.2 Instrument Diagnostic (Geräte Diagnostik ) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-6
6.3 Hinweise zur Fehlersuche . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-8
6.3.1 Fehlersuche am Instrument . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-9
6.3.2 Fehlersuche an den Sensoren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-12
6.3.2.1 Quarzwechsel und Rotation Prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-12
6.3.2.2 Sensorblende Funktion Prüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-12
6.3.3 Computer Kommunikation Fehlersuche . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-19
6.3.3.1 TCP/IP Modul LED Diagnostik . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-19
6.4 Austauschen des Quarzes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-20
6.4.1 Standard- und Kompaktsensoren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-21
6.4.2 Sensoren mit Blende und Doppelsensoren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-22
6.4.3 Ausheizbarer UHV-Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-23
6.4.4 Sputtersensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-24
6.4.5 Quarzgreifer (“Snatcher”) (IPN 007-035) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-25
6.4.6 CrystalSix . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-25
6.4.7 Crystal12 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-25
6.5 Quarz Sensor Emulator IPN 760-601-G2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-26
6.5.1 Diagnostik Vorgang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-27
6.5.1.1 Messsystem Diagnostik Prozedur . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-27
6.5.1.2 Durchführung oder In-Vakuum Kabel
Diagnostik Prozedur . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-28
6.5.1.3 Sensorkopf oder Monitor Quarz
Diagnostik Prozedur . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-29
6.5.1.4 System Diagnostik Erfogreich Aber Crystal Fail Nachricht Besteht . . . . . . 6-30
6.5.2 % XTAL Life - Quarznutzung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-30
6.5.3 Einschränkung der Emulator Verwendung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-31
6.5.3.1 Kompatible Sensorköpfe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-31
6.5.3.2 Unkompatible Sensorköpfe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-31
6.5.4 Emulator Spezifikationen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-32