INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 222)

Index - 2
IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
I
I/O
Connector 2-11
functions 3-11
Map 4-27
I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang)
Konfigurieren
4-2
IDLE POWER 4-5
IDLE RAMP 4-5
INPUT OPTION 4-23
Inputs 3-22
Interne Präzision 1-6
ION ASSIST DEPOSIT 4-15
IP Adresse 5-3
K
Kalibrierverfahren 7-1
Kommunikation Konfigurieren 4-2
Kontaminationserklärung 1-5
Korrekturfaktor 4-7
L
L Lock 3-4 , 3-10 , 4-3 , 4-16
LCD Dimmer Time 4-23
Leerlaufleistung 4-5
Leerlaufzeit 4-5
Life 3-7
LOCK CODE 4-21
Lock Code 3-4
M
Maximum Leistung 4-12
MAXIMUM POWER 4-12
Meßfrequenz 1-6
Meßverfahren 1-6
ModeLock 8-8 , 8-9
N
Nächste Schicht automatisch starten 4-20
NAME (nur XTC/3M) 4-15
Navigation 1-6
Neue Rate 4-6
NEW RATE 4-6
O
Oscillator Kit 1-13
Output 3-19
P
Passwort 4-21
Periodendauermessung 8-4
PID Reglermodell 8-10
Pre/Post Deposition Parameter 4-4
process 3-9
PROCESS TO RUN 4-19
Protocol 4-24
Protokoll 4-24
Prozess(e) Definieren 4-1
Prüfsumme 5-7
Q
Q 3-12
Quality 4-9
Quarz Frequenz 1-6
Quellen Konfigurieren 4-2
Quellenreglerspannung 4-22
R
R Lock 3-4 , 4-3
RATE 4-6
RateWatcher 3-32
RECORDER MODE 4-22
Recorder Mode 4-22
Regelverzögerung 4-14
Regelverzögerungszeit 4-15
Reglerverstärkung 4-11
RESET 3-13
RISE TIME 4-4
Rotary Sensor 3-30
RS-232 4-24 , 5-1
RS-232 Selftest 6-7
RW ACCURACY- 4-7
RW Genauigkeit 4-7
RW Haltezeit 4-7
RW HOLD 4-7
S
S 3-12
Schichtdickengenauigkeit 1-6
Schreiber Modus 4-22
SECOND TOOLING 4-8
secondary sensor 3-26
sensor 1-14 , 4-7
SENSOR 1 TYPE 4-21
Sensor Konfigurieren 4-2
Sensor Shutter 3-31
Sensor Übergabe 4-14
Sensorauswahl 2-2
Seriennummer 6-6
Sicherung 1-11