INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 73)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Oszillatorpaket arbeiten und benötigt nur einen Sensoranschluss am Gerät. Beim
Netzeinschalten wird geprüft ob der Doppelsensor einen guten Reservequarz hat.
Wenn ein Quarzausfall in Deposit aufkommt, wechselt das Gerät weiter zu dem
Reservequarz und arbeitet weiter. Wenn ein Start Befehl nach Vollendung der
Schicht versucht wird und die nächste Schicht verwendet denselben Sensor, wird
der Start Befehl nicht angenommen (außer "Start Without Backup"-Start ohne
Reservequarz ist auf Yes gesetzt), und die Meldung "No Backup Crystal" erscheint.
Der Crystal Fail-Quarzausfall Status kann durch die TOGL Taste in der Sensors
Anzeige mit dem Cursor auf "Clear Failed Crystals" gelöscht werden oder durch
aus- und wieder einschalten. In beiden Fällen bearbeitet das XTC/3 die nächste
Schicht mit dem letzten Quarz zu dem gewechselt wurde. Crystal Fail kann auch
gelöscht werden durch einen Quarzwechsel ausgelöst über die Frontplatte mit der
XTSW Taste, über die TOGL Taste in der Sensors Anzeige mit dem Cursor auf
"Switch Crystal" oder über Kommunikationsbefehle R14 (Quarzwechsel) oder R26
(Clear All Crystals). Ein guter Reservequarz muss vorhanden sein um die
Quarzwechselmethode zu benutzen.
3.6.8.2 CrystalSix
Beim Netzeinschalten wird der Sensor rotiert und alle Quarze geprüft um
festzustellen, wie viele "gute" und "schlechte" Quarze vorhanden sind. Das XTC/3
identifiziert jeden Quarz separat und verfolgt alle sechs Positionen im CrystalSix.
Während der Aufdampfung wechselt das XTC/3 automatisch zur nächsten Position
mit einem "guten" Quarz wenn ein Quarzausfall aufkommt. Wenn der letzte "gute"
Quarz ausfällt, geht das XTC/3 direkt in Time Power oder STOP Status, je
nachdem wie konfiguriert.
Für den CrystalSix Sensor schließt das Crystal Switch Relais beim Auslösen der
Quarzumschaltefunktion für eine Sekunde, dann öffnet es für eine Sekunde,
schließt wiederum für eine Sekunde und öffnet dann (d.h. zwei Impulse dienen
zum Erreichen der nächsten Quarzposition). Der erste Ein-Sekunde Puls bewegt
das CrystalSix Karussell in eine Zwischenposition zwischen zwei Quarzen. Wenn
der Ausgang für eine Sekunde öffnet, kehrt der Mechanismus zurück in die
Ruheposition und die zweite Schließung bewegt den nächsten Quarz dann in die
richtige Position.
3.6.8.3 Crystal12
Beim Netzeinschalten rotiert das XTC/3 den Sensor bis es Position 1 findet. Nur
ein Ventilpuls, eine Sekunde lang, bewegt den Sensor von einem Quarz zum
nächsten. Dann rotiert es weiter durch die anderen 11 Positionen um den Status
aller Quarze zu ermitteln. Am Ende dieses Vorgangs zeigt die Sensor Anzeige den
Sensor in Position 1 und die Positionsnummer von etwaigen ausgefallenen
Quarzen. Das XTC/3 prüft ob der Widerstandswert an jeder Position richtig ist.
Falls der Wert nicht wie erwartet ist, pulst das XTC/3 wieder und prüft die Position.