INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 213)

A - 3
IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
CrB 6.170 *1.000 Chromborid
Cs 1.870 *1.000 Zäsium
Cs
2
SO
4
4.243 1.212 Zäsiumsulfat
CsBr 4.456 1.410 Zäsiumbromid
CsCI 3.988 1.399 Zäsiumchlorid
CsI 4.516 1.542 Zäsiumjodid
Cu 8.930 0.437 Kupfer
Cu
2
O 6.000 *1.000 Kupferoxid
Cu
2
S 5.600 0.690 Kupfer(I)sulfid (Alpha)
Cu
2
S 5.800 0.670 Kupfer(I)sulfid (Beta)
CuS 4.600 0.820 Kupfer(II)sulfid
Dy 8.550 0.600 Dysprosium
DY
2
O
3
7.810 *1.000 Dysprosiumoxid
Er 9.050 0.740 Erbium
Er
2
O
3
8.640 *1.000 Erbiumoxid
Eu 5.260 *1.000 Europium
EuF
2
6.500 *1.000 Europiumfluorid
Fe 7.860 0.349 Eisen
Fe
2
O
3
5.240 *1.000 Eisenoxid
FeO 5.700 *1.000 Eisenoxid
FeS 4.840 *1.000 Eisensulfid
Ga 5.930 0.593 Gallium
Ga
2
O
3
5.880 *1.000 Galliumoxid (B)
GaAs 5.310 1.590 Galliumarsenid
GaN 6.100 *1.000 Galliumnitrid
GaP 4.100 *1.000 Galliumphosphid
GaSb 5.600 *1.000 Galliumantimonid
Gd 7.890 0.670 Gadolinium
Gd
2
O
3
7.410 *1.000 Gadoliniumoxid
Ge 5.350 0.516 Germanium
Ge
3
N
2
5.200 *1.000 Germaniumnitrid
GeO
2
6.240 *1.000 Germaniumoxid
GeTe 6.200 *1.000 Germaniumtellurid
Tabelle A-1 Materialtabelle (fortgesetzt)
Formel Dichte Z-Ratio Materialbezeichnung