INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
2. Der Quarz stellt während
des Aufdampfens seine
Schwingung ein, bevor er
seine „normale“
Lebensdauer erreicht hat.
a. Quarz wurde von
Partikeln oder Spritzern
geschmolzenen Materials
getroffen.
a. Vor dem Aufdampfen die
Aufdampfquelle gründlich
thermisch konditionieren.
Während der Konditionierung
eine Blende zum Schutz des
Quarzes verwenden.
b. Material auf dem Quarz-
halter verdeckt teilweise die
Öffnung für den Quarz.
b. Den Quarzhalter reinigen
c. Elektrischer Kurzschluss
oder Unterbrechung.
c. Mit einem Ohmmeter oder
einem Digital-Voltmeter,
Sensorleitung, Steckverbinder,
Kontaktfedern,
Verbindungsleitung im Sensor
und die Durchführungen auf
Durchgang prüfen.
d. Prüfen, ob ein thermisch
verursachter Kurzschluss
oder eine thermisch
verursachte Unterbrechung
vorliegen.
d. siehe c oben
HINWEIS:
Die Lebensdauer des Quarzes hängt in starkem Maße von den
Prozessbedingungen, welche die Aufdampfrate betreffen, der von der Aufdampfquelle
abgestrahlten Hitze, des Ortes, des Materials und der Zusammensetzung
des Restgases ab.
Tabelle 6-2 Sensor Fehlersuche und Diagnosis (fortgesetzt)
SYMPTOM
URSACHE
BEHEBUNG