INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
durch eine Verzögerung erster Ordnung plus einer Totzeit repräsentieren lassen.
Die Laplace Transformation für dieses Model (Konvertierung in den S-Bereich)
wird wie folgt approximiert:
[5]
Drei Parameter werden von der Reaktionskurve des Prozesses bestimmt. Diese ist
die Verstärkung im statischen Zustand K
p
, die Totzeit L und die Zeitkonstante T
1
.
Verschiedene Methoden sind zur Extraktion der erforderlichen Parameter
basierend auf dem Verhalten des Systems, wie in dargestellt, vorgeschlagen
worden. Diese sind im einzelnen: Einpunkt Anpassung bei 63,2 % des
Übergangswertes (1x Zeitkonstante); eine Zweipunktexponentialanpassung und
eine gewichtete Exponentialanpassung nach der Methode der kleinsten
Fehlerquadrate. Basierend auf den oben dargestellten Informationen lässt sich ein
Prozess ausreichend genau charakterisieren, so dass der Algorithmus für den
Regler entsprechend angepasst werden kann.
Reaktion eines Prozesses auf ein Sprungsignal bei offener Schleife (bei t=0 wird das
Reglersignal erhöht)
Kp = (Ausgangsänderung)/(Änderung des Reglersignals)
Ein Reglermodell, welches vielfach angewendet wird, ist der PID-Regler, welcher
in Laplace-Form durch
Gleichung [6] repräsentiert wird
.
[6]
Output
Input
------------------
K
p
L
– s
exp
T
1
s 1
+
-------------------------------
=
M s
K
c
1
1
T
i
s
------- T
d
s
+
+
Es
=