INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 32)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
HINWEIS: Das Wasser in den Leitungen darf nicht einfrieren. Dieses kann geschehen, wenn die Leitungen einen
Kryoschild passieren, und wenn der Wasserfluss unterbrochen wird. Für optimale Betriebsbedingungen
sollte die Wassertemperatur unter 30 °C liegen. Bei sehr hohen Umgebungstemperaturen kann über die
Wasserleitungen mehr Wärme an das Wasser abgegeben werden, als durch den eigentlichen Sensor. In
Extremfällen kann der Einbau eines Wärmeschutzschildes gegen Wärmestrahlung über den
Wasserleitungen von Vorteil sein.
Tabelle 2-1 Sensorauswahl Tabelle
Siehe auch 074-5000-G1 CD, Teil des Ship Kit und
http://www.inficon.com/de/productindex/index.htm für Daten über Cool Drawer Sensoren.
Max. Ausheiz
Temperatur* /
Isothermal Wasserrohr &
Größe (Max. Umfang)
Koax Länge Kopf & Halter IPN
***CrystalSix
Sensor 130 °C / 400 °C 3,5” dia. x 2.0” hoch
(89 mm x 51 mm) 30” (762 mm) 304 SS
(Platte, Halter &
Materialab-
schirmung)** 750-446-G1
***Crystal12 Sensor 130 °C / 300 °C 4.0" dia. x 3.3" hoch
(102 mm x 84 mm)
30" (762 mm) 304 SS XL12-xxxx
****Doppelsensor
CrystalTwo/Doppel-
sensor 130 °C / 400 °C 1.54" x 3.23" x 1.95" hoch
(39 mm x 82 mm x 50 mm) 30” (762 mm) 304 SS 750-212-G2
Standard Sensor 130 °C / 400 °C 1.063” x 1.33” x .69” hoch
(27 mm x 34 mm x 18 mm) 30” (762 mm) 304 SS 750-211-G1
***Standard Sensor
m/Blende 130 °C / 400 °C 1.06” x 2.24” x .69”
(27 mm x 57 mm x 1.8
mm) 30” (762 mm) 304 SS 750-211-G2
Sputtersensor 105 °C 1.36 x .69”
(35 mm x 18 mm) 30” (762 mm) Au-beschichtet
BeCu 750-618-G1
Kompaktsensor 130 °C / 400 °C 1.11” x 1.06” x 1.06”
(28 mm x 27 mm x 27 mm) 30” (762 mm) 304 SS 750-213-G1
***Kompaktsensor
m/Blende 130 °C / 400 °C 2.08” x 1.62” x 1.83”
(53 mm x 41 mm x 46 mm) 30” (762 mm) 304 SS 750-213-G2
UHV ausheizbarer
Sensor 450 °C / 400 °C 1.35” x 1.38” x .94”
(53 mm x 41 mm x 46 mm) 12” (305 mm)
20” (508 mm)
30” (762 mm) 304 SS 007-219
007-220
007-221
***UHV
ausheizbarer
Sensor m/Blende 400 °C / 400 °C 1.46” x 1.37” x 1.21”
(37 mm x 35 mm x 31 mm) 12” (305 mm)
20” (508 mm)
30” (762 mm) 304 SS 750-012-G1
750-012-G2
750-012-G3
***Blende 400 °C / 400 °C in zwei Ausführungen
erhältlich N/A 300-Serie SS 750-210-G1
750-005-G1
(Sputter)
* nur beim Ausheizen; zur Überwachung des eigentlichen Aufdampfvorgangs ist ein Kühlwasserfluss erforderlich. Diese
Temperaturen sind konservative Maximaltemperaturen an dem jeweiligen Teil, die durch die Eigenschaften von Teflon (PTFE) bei
höheren Temperaturen vorgegeben sind. Im echten Einsatz ermöglicht die Wasserkühlung den Betrieb bei wesentlich höheren
Umgebungstemperaturen ohne negative Auswirkungen.
** Aluminiumkörper zur Wärmeübertragung.
*** Benötigt Pneumatische Blende Aktivierungs-Regelventil 750-420-G1 und Durchführung mit Pressluftanschluss.
**** Doppelsensor konfiguriert als "CrystalTwo" benötigt 779-220-G1 oder -G2 Xtal 2 Switch, Pneumatische Blende
Aktivierungs-Regelventil 750-420-G1 und 002-080 Durchführung mit Pressluftanschluss und zwei Signalverbindungen
aber nur ein XIU Paket. Doppelsensor konfiguriert als "Dual Head" benötigt wie oben, außerdem ein zweites XIU Paket
anstatt des 779-220-Gx Xtal 2 Switch.