INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
3. Gerät speichert die
Parameter
nicht beim Abschalten
(Parameterverlust
beim Einschalten).
a. Statische RAM Bausteine
defekt.
a. Die Batterie für die statischen
RAM Bausteine hat eine
Lebenserwartung von ca. 10
Jahren, an INFICON Service
wenden.
b.
Stromversorgungsproblem
b. an INFICON Service wenden
c. Batterie leer
c. an INFICON Service wenden.
4. Einige Tasten auf der
Gerätevorderseite
funktionieren, andere
jedoch nicht.
a. Defekte Tastatur oder
Fehler in dem
Flachbandkabel zur
Tastatur.
a. an INFICON Service wenden
5. Alle Tasten auf der
Gerätevorderseite
sind ausgefallen.
a. Das Gerät hat sich
„aufgehängt“.
a. Gerät ausschalten (OFF oder
STBY), dann erneut einschalten
(ON), siehe Punkt 2 oben.
6. Der Steuer-
spannungsausgang
arbeitet nicht richtig.
a. Das Gerät ist durch
Anlegen einer Spannung an
den Steuer-
spannungsausgang
beschädigt worden.
a. Sicherstellen, dass an den
Steuerausgängen keine Spannung
von der Leitungsseite her
anliegt. Wenden Sie sich an
INFICON Service.
b. Umgekehrte Polarität der
Steuerspannung im
Verhältnis zu der
Steuerspannung, die von
der Stromversorgung der
Aufdampfquelle
akzeptiert wird.
b. Prüfen, ob die Polarität am DAC
Ausgang für die Aufdampfquelle
der erforderlichen Polarität am
Eingang der Stromversorgung
entspricht. Wenn notwendig,
Source Control Volt Parameter in
General Hardware Anzeige neu
programmieren.
c. Falsch hergestellte
Steuerleitung.
c. Auf richtige Verdrahtung prüfen
per Bedienungsanleitung .
7. LCD Anzeige dunkel a. LCD oder
Stromversorgung Problem
a. an INFICON Service wenden
b. LCD Dimmer Zeit ist
vergangen
b. Die Cursor Taste drücken um die
Anzeige zu erfrischen.
Tabelle 6-1 Fehlersuche am Instrument (fortgesetzt)
SYMPTOM
URSACHE
BEHEBUNG