INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 21)

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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
Anzeigeauflösung für
die Schichtdicke . . . . . . . . . . . . . . . . 1 Å für 0 bis 9.999 kЕ
10 Е fьr 10.00 bis 99.99 kЕ
100 Е fьr 100.0 bis 999.9 kÅ
1 kÅ für 1000 kÅ bis 9999 kÅ
Anzeigebereich für
die Aufdampfrate . . . . . . . . . . . . . . . 0.0 bis 99.9 Å/s; 100 bis 999 Å/s
Anzeigeauflösung für
die Aufdampfrate . . . . . . . . . . . . . . . 0.1 Å für 0 bis 99.9 Å/s
1 Å für 100 bis 999 Å/s
Anzeigebereich für
die Leistungsabgabe . . . . . . . . . . . . 0.0 bis 99.9%
Grafikanzeigefunktionen. . . . . . . . . . Abweichung der Aufdampfrate bei ± 5, 10,
20, oder 40 Å/s oder Leistung bei 0.0 bis
100%
Aktualisierungsrate der Anzeige. . . . 1 Hz
1.4.5 Ausgänge für Aufdampfquelle / Schreiber
Anzahl . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 BNC Buchsen
Konfiguration . . . . . . . . . . . . . . . . . . Quelle 1, Quelle 2, Schreiber
Funktionsberieche
Quellenregelung . . . . . . . . . . . . . 0 bis 10 V, 0 bis -10 V, 0 bis 5 V,
0 bis -5 V, 0 bis 2.5 V, 0 bis -2.5 V
Schreiberausgang . . . . . . . . . . . 0 bis +10 V
Strombelastbarkeit . . . . . . . . . . . . . . 25 mA max. pro Kanal an Quelle 1 und
Quelle 2, 5 mA max. an Schreiber
Auflösung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15 Bit über den gesamten Bereich (10 V)
Aktualisierungsrate. . . . . . . . . . . . . . 4 Hz, max. (abhängig von den Eigenschaften
der Aufdampfquelle).
Schreiberausgangsfunktionen . . . . . Rate oder Schichtdicke oder Leistung oder
Ratenabweichung
Schreiberausgangsbereiche
Leistung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0 bis 100%
Rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0 bis 100 Å/s, 0 bis 1000 Å/s
Schichtdicke . . . . . . . . . . . . . . . . 0 bis 100 Å, 0 bis 1000 Å (beide Bereiche
Modulo)
Ratenabweichung. . . . . . . . . . . . Gewünschte Rate ± 50 Å/s
Genauigkeit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ± 2% vom Vollausschlag