INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 196)

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P5
A
XTC/3 Gebrauchsanweisung
3 Einen Aufdampfvorgang auf einem Probesubstrat durchführen so dass eine
Quarzlebensdauer von ca. 50% oder fast das Ende der Quarzlebensdauer für
das betreffende Material angezeigt wird, je nachdem welcher Wert kleiner ist.
4 Die Aufdampfung beenden und die Quarz Endfrequenz Fc mit dem S13 Befehl
ermitteln.
5 Das Probesubstrat entfernen und die Schichtdicke entweder mit einem
Mehrstrahl-Interferometer oder einem Profilometer messen.
6 Mit dem Dichtewert von Schritt 1 und den oben ermittelten Werten für F
co
and
F
c
, den Z-Ratio Wert in der Gleichung [5] für Dicke ändern bis der kalkulierte
Dickewert mit der tatsächlich gemessenen Dicke übereinstimmt. Wenn der
berechnete Dickewert größer als die tatsächliche Dicke ist, den Z-Ratio Wert
erhöhen. Wenn der berechnete Dickewert kleiner als die tatsächliche Dicke ist,
den Z-Ratio Wert verringern.
[5]
mit:
T
f
= Dicke der aufgedampften Schicht (kÅ)
F
co
= Startfrequenz von Messquarz (Hz)
F
c
= Endfrequenz von Messquarz (Hz)
F
q
= Nominale Frequenz des unbeschichteten Messquarz= 6045000 (Hz)
z = Z-Ratio von Aufdampfmaterial
Z
q
= Spezifische Akustische Impedanz von Quarz = 8765000 (MKS Einheiten)
p = Dichte von Aufdampfschicht (g/cc)
7.5 Z-Ratio Abschätzen
Für das Simultanaufdampfen (z. B. zweier Schichten,) kann der Z-Wert für die
zweite Schicht auf der Grundlage der relativen Schichtdicke der beiden Schichten
geschätzt werden. In den meisten Anwendungen führt die Einhaltung folgender
drei Regeln zu einer ausreichenden Genauigkeit:
 Wenn die Schichtdicke von Schicht 1 groß im Vergleich zu Schicht 2 ist, den
Z-Wert von Material 1 für beide Schichten verwenden.
 Wenn die Schichtdicke von Schicht 1 klein im Vergleich zu Schicht 2 ist, den
Z-Wert von Material 2 für beide Schichten verwenden.
 Bei vergleichbaren Schichtdicken den gewichteten Durchschnittswert der
beiden Z-Werte für das Aufdampfen von Schicht 2 und aller folgenden
Schichten verwenden.
T
f
Z
q
10
4

2 zp
--------------------
1
F
co
--------
 
  ATan zTan
F
co
F
q
-----------
 
 
 
  1
F
c
-----
 
  ATan zTan
F
c
F
q
---------
 
 
 
 
–
 
 
 
=