2 stability – INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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XTC/3 Gebrauchsanleitung
SECOND TOOLING. . . . . . . . . . . . . 10.0 bis 500.0%
Der Second-Zweite Tooling Parameter trifft zu wenn das CrystalTwo Quarzwechsel
Relais aktiv wird. Dieser Parameter wird nur angezeigt wenn ein CrystalTwo
Sensor in Verwendung ist.
Der Standardwert für beide ist 100%.
Tooling ist ein Korrekturfaktor der benutzt wird um die Rate und
Schichtdickenakkumulation auf dem Quarz mit der Dickenakkumulation auf dem
Substrat zu korrelieren. Der Unterschied in der Dicke beruht auf der geometrischen
Verteilung des Materialdampfes von der Quelle.
Der Toolingfaktor wird mittels der folgenden Gleichung berechnet:
[1]
mit TF
i
= Startwert für Toolingfaktor, T
m
= Tatsächliche Dicke am Substrat, und
T
x
= Dicke am Quarz.
Wird der TOOLING Parameter geändert, wird der neue Wert für folgende
Berechnung der Rate und Dicke verwendet. Gleichzeitig wird auch die bisher
akkumulierte Dicke an den neuen Wert angepasst.
4.2.4.1 S&Q Parameter Einstellung (Quarzausfall Auslösen)
Während der Aufdampfung kann der Quarz unstabil oder erratisch werden jedoch
weiterschwingen innerhalb dem erlaubten Frequenzbereich von 6.0 MHz bis 5.0
MHz. Die resultierende Ratenregelung wird schlecht und Dickemessung kann
ungenau sein. Durch Eingabe von nicht-Null Werten für "Stability" und/oder
"Quality", können verschiedene Verbesserungen in der Prozessregelung erreicht
werden wenn ein oder mehrere Reservequarze vorhanden sind. Das Gerät kann
automatisch auf einen anderen Quarz umwechseln und die Aufdampfung normal
fortsetzen oder die Schicht in TIME-POWER beenden oder den Prozess sofort
beenden wenn kein Reservequarz vorhanden ist.
4.2.4.2 Stability
Unter idealen Zuständen verringert sich die Schwingungsfrequenz des Quarz
während dem Aufdampfen nur wegen der wachsenden Masse die dem Quarz
hinzugefügt wird. Es gibt jedoch eine Reihe von ungewünschten Auslösern für eine
positive Frequenzverschiebung. "Stability" bestimmt die erlaubte Erhöhung in
Frequenz zwischen zwei aufeinanderfolgenden Messungen bevor der Quarz als
ausgefallen klassifiziert und ein automatischer Quarzwechsel ausgelöst wird
(wenn ein Reservequarz oder Sensor vorhanden ist) oder die Schicht in
TIME-POWER Mode oder durch STOP beendet wird.
Tooling
TF
i
T
m
T
x
-------
=