2 hardware parameter, Siehe seite 4-21, General – INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch

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IP

N 07

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A

XTC/3 Gebrauchsanleitung

Relais, Eingänge, Quellen- und Schreiberausgänge arbeiten wie normal in Test
Modus aber Crystal Fail - Quarzausfälle werden ignoriert.

LOCK CODE . . . . . . . . . 1 bis 9999

Das "L Lock" Passwort wird eingegeben nachdem der Cursor zum Lock Code
XXXX bewegt wird und dann das gewünschte Passwort von bis zu 4 Ziffern
eingeben. Wenn kein Passwort gewünscht ist, ist Eingabe nicht notwendig.
Eingabe einer 0 löscht ein vorher gesetztes Passwort und erlaubt offenen Zugang
zu allen Parametern. (Hinweis, wenn vorher ein Passwort programmiert war, muss
dieses zuerst in der Menu Anzeige eingegeben werden, mit dem Cursor auf der
Passwortposition.) Das Passwort kann auch durch betätigen der "CLEAR" Taste
beim Einschalten gelöscht werden. Wenn jedoch kein Passwort programmiert war,
werden dadurch alle Parameter auf ihre Standardwerte zurückgesetzt.

4.4.2 Hardware Parameter

Abbildung 4-15 XTC3/M Hardware Anzeige

SENSOR 1 TYPE. . . . . . Single, CrystalTwo, CrystalSix, Crystal12, Rotary, Dual

Head.
Betätigen der TOGL Taste geht durch die Auswahl.
Standardwert ist "Single".

SENSOR 2 TYPE. . . . . . Single, CrystalTwo, CrystalSix, Crystal12, Rotary.

Betätigen der TOGL Taste geht durch die Auswahl.
Standardwert ist "Single".

General

| Sensor 1 Type Single
| Sensor 2 Type Single
|
Process | Source Control Volt +10

|

Hardware

|

| Recorder Mode Rate
| Range 100

Comm Info| Filter Unfiltered
|
| Audio Feedback Yes
| LCD Dimmer Time 0 min

40.0

A/S

183.6

KA

0.0

%

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