INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 151)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
5.3.5.4 "XTC2" UPDATE-Aktualisieren Befehl
The Update-Aktualisieren Befehl ersetzt den aktuellen Parameterwert mit der
übertragenen DATA.
Das Format des Update-Aktualisieren Befehl für einen Filmparameter ist:
U pp F vvv - Parameter pp von Film F, Wert vvv.
Parameter pp von Film F, mit Wert vvv ersetzten. Ein Leerzeichen wird als
Begrenzung zwischen den pp und F Werten sowie den F und vvv Werten benutzt,
mit F eine Nummer zwischen 1 und 9. Siehe
Tabelle 5-7 für eine numerische Liste
der Parameter und deren Grenzwerte. Wenn der Wert vvv leer gelassen wurde,
wird der Befehl angenommen und ein Wert von 0 übertragen.
HINWEIS: Wenn pp 99 ist, besteht die Datenrückgabe aus einer Liste aller
Parameter in Folge.
Dieser Befehl erlaubt schnelle Übertragung eines Datenblock und bequemes
downloaden von Filmdaten. Jeder Parameterwert ist mit einem Leerzeichen
abgegrenzt.
Das Format des Update-Aktualisieren Befehl für Schichtparameter ist:
U 40 L v
wo 40 bedeutet dass eine Schicht aktualisiert werden soll. Der Wert L gibt an
welche Schicht zu aktualisieren. Der Wert L kann 1, 2, oder 3 sein, und v bestimmt
die Filmnummer die in Schicht L eingefügt wird.
Zum Beispiel, der Update Befehl..... U 40 1 4
fügt Film Nummer 4 in Schicht 1 ein.
HINWEIS: Im XTC2 kann eine Null als Filmnummer in Schicht 2 und eine gültige
Filmnummer in Schicht 3 programmiert werden. Im XTC3 ist das nicht
erlaubt. Wenn eine Null in Schicht 2 programmiert wird und eine gültige
Filmnummer in Schicht 3, wird der Film in Schicht 3 in Schicht 2 verlegt.
Schicht 3 ist dann leer.
U 40 2 v oder U 40 3 v sind im XTC3S nicht erlaubt da es nur eine Schicht enthalten
kann.
"XTC2" STATUS Befehl
Gibt Information betreffend dem übertragenen Befehl.
Das Format des Status Befehl ist:
S xx . . . . Gibt den Status (Wert) von xx mit:
S . . . . . . . Das wörtliche S
a = Film # in Schicht 1
b = Film # in Schicht 2
c = Film # in Schicht 3
Tabelle 5-8 Q40 Befehl Antworten
Befehl XTC/3S Antwort XTC/3M Antwort