INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
9
(0x09)
Schreiber
Betriebsart
0 = Rate
1 = Dicke
2 = Leistung
3 = Ratenabweich.
Int
0
3
10
(0x0a)
Schreiber Bereich
0 = 100
1 = 1000
Int
0
1
11
(0x0b)
Schreiber Filter
1 = Glatt
0 = Ungefiltert
Int
0
1
12 (0x0c)
Audio Feedback
Rückmeldung
1 = Yes, 0 = No
Int
0
1
13 (0x0d)
LCD Aus
Minuten
Int
0
99
14
(0x0e)
RS232 Baudrate
0 = 9600
1 = 19200
2 = 38400
3 = 57600
4 = 115200
Int
0
4
15
(0x0f)
RS232 Kommuni-
kation Protokoll
0 = Standard
RS232
1 = Datalog
2 = XTC/2
w/Prüfsumme
3 = XTC/2 keine
Prüfsumme
Int
0
3
16 (0x10)
Auto-Start
Nächste
Schicht (nur
XTC/3M)
1 = Yes, 0 = No
Int
0
1
Eingang Option
(nur XTC/3S)
0 = Standard
1 = Filmwahl
255
(0xff)
1
Alle Parameter
(Muss in Ready
sein)
1
Kann nicht geändert werden wenn ein Film in Bearbeitung ist.
Tabelle 5-3 "Standard" General Parameter (Fortsetzung)
"Stan-
dard"
Befehl ID
Name
Einheiten /
Erlaubte Werte /
Bemerkungen
Daten-
typ/
Format
Unter
e
Grenz
e
Obere
Grenze