INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Abbildung 2-2 Sensor Installation Hinweise
Zum Schutz gegen Spritzer wird empfohlen, eine Blende für die Aufdampfquelle
oder den Quarz einzusetzen, um den Sensor während der Anfangsphasen des
Aufdampfens zu schützen. Wenn der Quarz selbst von kleinsten Partikeln
geschmolzenen Materials getroffen wird, kann er beschädigt werden oder seine
Oszillation ganz einstellen. Selbst wenn die Oszillation nicht ganz zum Erliegen
kommt, kann der Quarz instabil werden.
Folgen Sie diesen Vorsichtsmaßnahmen:
Den Sensor immer an einem festen Punkt innerhalb der Kammer befestigen.
Es sollte sich nicht auf die Waserrohre zur Befestigung verlassen werden.
Den Einbau so planen, dass sich in dem Weg zwischen dem Sensor und der
Aufdampfquelle keine Hindernisse befinden. Dabei auch in Betracht ziehen,
dass sich Baugruppen drehen oder bewegen lassen.
Die Sensoren so einbauen, dass deren Hauptachse(eine imaginäre Linie
senkrecht zur Mitte der Quarzoberfläche) direkt auf die virtuelle Quelle zielt, die
überwacht werden soll. Sicherstellen dass die Gesamtlänge der externen und
internen Koaxialkabel vom Standard Oszillator 780-600-G1 zum Sensor 100
Zoll (254 cm) nicht überschreitet. Ein optionaler 780-600-G2 Oszillator ist
erhältlich für In-Vakuum Koaxialkabellängen von 118 Zoll bis 158 Zoll (3 bis 4
m).
Sicherstellen, dass der Quarz zwecks Austausch leicht erreichbar ist.
Bei Systemen, in denen zwei XTC/3 mehrere Aufdampfquellen gleichzeitig
kontrollieren (co-deposition), sollte man versuchen, die Sensoren so
anzuordnen, dass jeder Sensor ausschließlich nur dem Materialdampf einer
Aufdampfquelle ausgesetzt wird. Dies wird in den meisten Fällen nur durch den
Richtig
Falsch
Richtig
Falsch
Falsch
Obstruction
Aufdampfquelle