INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 194)

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A
XTC/3 Gebrauchsanweisung
4 Einen neuen Quarz in den Sensor einsetzen und per manueller Bedienung
einen kurzen Aufdampfvorgang (1000 bis 5000 Å) ablaufen lassen.
5 Nach dem Aufdampfvorgang das Probesubstrat entnehmen und die
Schichtdicke entweder mit einem Mehrstrahl-Interferometer oder einem
Profilometer messen.
6 Den neuen Dichtewert mit der folgenden Gleichung berechnen:
[1]
mit:
D
1
= Eingegebene Dichte von Schritt 1
T
x
= Angezeigte Dicke am Gerät
T
m
= Gemessene Dicke von Schritt 4
7 Die berechnete Dichte lässt sich schnell überprüfen, indem man das Gerät mit
dem neuen Dichtewert programmiert und feststellt, ob die angezeigte
Schichtdicke gleich der gemessenen Schichtdicke ist. Dies gilt nur unter der
Voraussetzung, dass in der Zwischenzeit (d.h., zwischen dem Aufdampfen und
der Eingabe der berechneten Schichtdicke) das die Dicke im Gerät nicht auf
Null zurückgesetzt wurde.
HINWEIS: Um T
x
= T
m
zu erzielen, kann eine geringfügige Anpassung des
Dichtewertes erforderlich sein.
7.3 Korrekturfaktor - Tooling Bestimmen
1 Ein Probesubstrat in den Substrathalter des Systems einsetzen.
2 Einen kurzen Aufdampfvorgang starten und die tatsächliche Schichtdicke
bestimmen.
3 Den Korrekturfaktor (Tooling) nach folgender Gleichung berechnen::
[2]
mit
T
m
= Tatsächliche Schichtdicke am Substrathalter
T
x
= Am Gerät abgelesene Schichtdicke
TF
i
= Startwert für den Korrekturfaktor
4 Den Korrekturfaktor in Prozent auf eine Dezimalstelle auf oder abrunden.
Dichte g cm
3
    D
1
T
x
T
m
-------
 
 
 
=
Tooling (%) TF
i
T
m
T
x
-------
 
 
 
=