INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 86)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
4.2.3 Deposit - Aufdampfung Parameter
Abbildung 4-3 Deposit Film Programm Anzeige
FILM NUMBER . . . . . . . . . . . . . . . . 1 bis 32 (XTC/3M)
1 bis 9 (XTC/3S)
RATE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.0 bis 999.9 Å/s
Hiermit wird die Aufdampfrate festgelegt, die während des Aufdampfzustandes
(DEPOSIT) und während der Blendenverzögerungszeiten geregelt wird. Ein Wert
von 0.0 Å/s erlaubt überspringen des Deposit Status. Der Standardwert ist 0.0 Å/s.
FINAL THICKNESS- Enddicke. . . . 0.000 bis 999.9 kÅ
Dieses ist die Schichtdickenangabe, die das Ende des Aufdampfzustandes
(DEPOSIT) bestimmt. Die Blenden für die Aufdampfquelle und den Quarz kehren
zum normalen Zustand zurück, und die Schicht geht in den
Leerlauframpenzustand. Der Standardwert ist 0,000 kÅ.
THICKNESS SET POINT- Dickensollwert .............. 0.000 bis 999.9 kÅ
Bestimmt den Wert der Dicke bei welcher der Thickness Setpoint Status- der
Dickensollwertstatus, aktiv wird und die New Rate-Neue Rate (wenn nicht Null)
beginnt. Die Schichtdicke erhöht sich nach Eintritt in den Aufdampfzustand. Der
Status verbleibt im aktivierten Zustand, nachdem die Schichtdickengrenze erreicht
wurde, bis zum Beginn des Leerlaufzustandes. Der Standardwert ist 0,000 kÅ.
NEW RATE- Neue Rate. . . . . . . . . . 0.0 bis 999.9 Å/s
Bestimmt die neue Aufdampfrate, die gewünscht wird nachdem der Thickness
Setpoint-Schichtdickengrenze erreicht wird. Der Standardwert ist 0,0 Å/s und setzt
die Funktion außer Kraft. Ein Wert von 0.1 Å/s löst Final Thickness-Enddicke am
Ende der Ratenrampenzeit-Rate Ramp Time, siehe
Abschnitt 3.6.5 auf Seite 3-26 .
FILM NAME
| Film Number 1
|
Pre/Post |Rate 0.0 Å/sec
|Final Thickness 0.000 kÅ
Deposit |
|Thickness Set Point 0.000 kÅ
Sensor |New Rate 0.0 Å/sec
|Rate Ramp Time 00.00 mm:ss
Source |
|RW Accuracy 5 %
Option |RW Hold 00:00 mm:ss
|
40.0
A/S
183.6
KA
0.0
%