INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 134)

5 - 22
IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
24
(0x18)
Control Gain
Regler-
verstärkung
Å/s / % Float
xx.xx
00.01 100.0
25
(0x19)
Regler
Zeitkonstante
s Float
xxx.x
0.1 100.0
26
(0x1a)
Dead Time
Regler Totzeit
s Float
xxx.x
0.1 100.0
27
(0x1b)
Max Leistung % Float
xxx.x
0.0 100.0
28
(0x1c)
Density
Dichte
gm/cc Float
x.xx
xx.xx
0.50 99.99
29
(0x1d)
Z-Ratio Float
x.xxx
xx.xx
xxx.x
0.100 9.999
30
(0x1e)
Time Power
Zeit-Leistung
1=Yes-Ja
0 = No-Nein
Int 0 1
31
(0x1f)
Delay option
Verzögerungs-
option
0 = Keine
1 = Blende
2 = Regler
3 = Beide
Int 0 3
32
(0x20)
1 Transfer
Sensor
Übergabe
1=Yes, 0 = No
Nicht wenn Film
aktiv ist
Int 0 1
33
(0x21)
1 Übergabe
Korr.faktor
% Float
xxx.x
10.0 500.0
34
(0x22)
1
Regel-
verzögerungs-
zeit
MM:SS
(s)
Int 0 99:59
(5999)
35
(0x23)
2 Ion Assisted
Deposit
1=Yes,
0 = No
Int 0 1
Tabelle 5-2 "Standard" Film Parameter (Fortsetzung)
"Stan-
dard"
Befehl
ID
Name
Einheiten /
Erlaubte Werte /
Bemerkungen
Daten-
typ/
Format
Untere
Grenze
Obere
Grenze