INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
Seite 188
6 - 28
IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
6.5.1.2 Durchführung oder In-Vakuum Kabel
Diagnostik Prozedur
1
Siehe
auf Seite 6-26
. Das In-Vakuum Kabel vom Sensorkopf an Stelle B lösen.
2
Den Quarz Sensor Emulator an das In-Vakuum Kabel schließen.
Wenn die XTAL Fail Nachricht nach ungefähr 5 s gelöscht wird, arbeiten die
Durchführung and In-Vakuum Kabel korrekt. Das In-Vakuum Kabel wieder
an den Sensorkopf schließen. Mit
Abschnitt 6.5.1.3 auf Seite 6-29
weitergehen
Wenn die XTAL Fail Nachricht besteht, weiter mit Schritt 3.
3
Das In-Vakuum Kabel von der Durchführung und dem Emulator lösen. Das
sechs-Zoll BNC Kabel von der Durchführung lösen.
4
Mit einemOhm- Meter, elektrische Kontinuität vom BNC Mittelkontakt an der
Durchführung zum Microdot Mittelkontakt an der Durchführung prüfen. Ein
typischer Wert liegt unter 0.2 Ohm.
5
Elektrische Isolation zwischen dem Mittelkontakt an der Durchführung zu
Masse (Durchführung Gehäuse) prüfen. Ein typischer Wert liegt über 10
Megohm.
Wenn die Durchführung defekt ist, die Durchführung austauschen, die BNC und
In-Vakuum Kabel wieder anschließen, und diese Prozedur wiederholen von Schritt
2 an, andernfalls mit Schritt 6 weitergehen.
6
Elektrische Kontinuität vom Mittelkontakt zu Mittelkontakt am In-Vakuum Kabel
prüfen.
7
Prüfen dass der Mittelkontakt des In-Vakuum Kabel von der Abschirmung des
In-Vakuum Kabel isoliert ist.
Wenn das In-Vakuum Kabel defekt ist, das In-Vakuum Kabel austauschen. Die
BNC und In-Vakuum Kabel wieder anschließen, und diese Prozedur wiederholen
von Schritt 2 an, andernfalls mit Schritt 8 weitergehen.
8
Das In-Vakuum Kabel an die Durchführung schließen.
9
Elektrische Kontinuität vom Mittelkontakt am BNC Stecker der Durchführung
zum Mittelkontakt an dem freien Ende des In-Vakuum Kabel prüfen.
10
Elektrische Isolation zwischen dem Mittelkontakt zu Masse (Durchführung
Gehäuse) prüfen.
Wenn das Durchführung/In-Vakuum Kabel System defekt ist, kann die Ursache
defekte elektrische Durchführungkontakte zum In-Vakuum Kabel sein. Die
Durchführung entweder reparieren oder austauschen. Die BNC und In-Vakuum
Kabel wieder anschließen und diese Prozedur von Schritt 2 an wiederholen.
Andernfalls mit Schritt 11 weitergehen.