INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 144)

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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
Tabelle 5-5 "Standard" Remote-Fernbedienung Befehle
"Standard"
Befehl
ID
Funktion Beschreibung
0 (0x00) Start Started die nächste Schicht im aktiven
Prozess.
1
(0x01)
Stop Stoppt die Schicht, setzt die Leistung auf
Null, schließt Blenden, etc.
2
(0x02)
Reset Wenn in Stop, setzt das Gerät in den Ready
Status, am Prozessanfang.
3
(0x03)
Fernsperre Ein Verhindert aktualisieren von Parametern
über die Frontplatte.
4 (0x04) Fernsperre Aus Behebt die Fernsperre.
5
(0x05)
Quarzausfall Sperren Ein Verhindert Aktivierung des Quarzausfall
Relais.
6 (0x06) Quarzausfall Sperren Aus Das Quarzausfall Relais arbeitet normal.
7
(0x07)
Soak Halt 2 Ein Hält das Gerät im Soak 2 Status nachdem
betreten, bis Soak Halt behoben wird (R8)
8 (0x08) Soak Hold 2 Aus Erlaubt dem Gerät Soak 2 Status zu
verlassen.
9 (0x09) Manual-Manuell Ein Setzt das Gerät in den Manual-Manuelle
Leistung Status.
10
(0x0a)
Manual-Manuell Aus Behebt den Manual Leistung Status, und
versetzt das Gerät in den Deposit Status.
11
(0x0b)
Setze Leistung vv Aktive Schicht auf vv % Leistung.
vv = <Float> 0 - 100 (Hinweis: Nur erlaubt
wenn aktueller Status Manual-Manuell ist)
12 (0x0c) Dicke nullen Nulled die Dicke der aktuellen Schicht.
13
(0x0d)
Enddicke auslösen Verursacht dass der aktive Film reagiert als
ob Enddicke erreicht wäre.
14
(0x0e)
Quarzwechsel Wenn ein Multi-Quarz Sensor in Betrieb ist,
wechselt das Gerät auf die nächste
Position.