INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
8. Probleme mit der
Umschaltung beim
CrystalSix Sensor und
Crystal12 (schaltet
nicht weiter oder der Quarz
wird nicht richtig zentriert)
a. Fehlende Druckluft-
versorgung oder
unzureichender Druck für
einen ordnungsgemäßen
Betrieb.
a. Sicherstellen, dass der
Druck der Luftversorgung
80 bis 90 PSIG beträgt.
b. Beeinträchtigung des
Betriebs wegen der
Akkumulation von Material
auf der Abdeckung.
b. Akkumuliertes Material je
nach Erfordernissen reinigen.
Siehe hierzu die
Bedienungsanleitung
zum CrystalSix Sensor IPN
074-155 oder Crystal12 IPN
074-398 auf CD IPN 074-5000
für Wartung
c. Falsche Justage.
c. Entsprechend den Angaben
der Bedienungsanleitung zum
Crystal- Six Sensor IPN
074-155 oder Crystal12 IPN
074-398 auf CD IPN 074-5000
justieren.
d. Gelieferte Drossel mit
einem Durchmesser von
0,00225 Zoll ist nicht auf
dem Drucklufteingang des
elektromagnetisch
betätigten Ventil
eingebaut worden.
d. Gelieferte Drossel
entsprechend den Angaben
der Bedienungsanleitung zum
CrystalSix Sensor IPN 074-155
oder Crystal12 IPN 074-398
auf CD IPN 074-5000
einbauen.
9. Crystal12: Carousel
Open und Xtal Fail
Nachrichten bleiben
nachdem Karussell
installiert wurde.
a. Schaltkreis offen
a. Einen Crystal Switch -
Quarzwechsel oder Rotate
Head - Kopf rotieren Befehl
auslösen
10. Crystal12: Sensor
macht zwölf Schritte und
zeigt Xtal Switch Fehler,
Xtal Fail, und Carousel
Open-Karussell Offen
Nachricht.
a. elektrische Verbindung
verloren
a. Elektrische Kontinuität und
Isolierung prüfen
b. Widerstand #1 ist offen
b. Elektrische Kontinuität und
Isolierung prüfen
c. Kein Karussell installiert c. Karussell installieren
d. Kontaktfeder in
Kontaktbauteil ist
gebrochen
d. Elektrisches Kontakt Bauteil
ersetzen— siehe Crystal12
Anleitung IPN 074-398 auf CD
IPN 074-5000
Tabelle 6-2 Sensor Fehlersuche und Diagnosis (fortgesetzt)
SYMPTOM
URSACHE
BEHEBUNG