INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 195)

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A
XTC/3 Gebrauchsanweisung
5 Bei richtiger Berechnung und nach Eingabe dieses neuen Wertes in das
Programm ist T
m
gleich T
x
.
HINWEIS: Es wird empfohlen, mindestens drei separate Aufdampfvorgänge bei
der Kalibrierung des Korrekturfaktors durchzuführen. Variationen in der
Materialverteilung von der Quelle und andere Systemfaktoren tragen zu
kleinen Unterschieden in der Schichtdicke bei. Zur endgültigen
Kalibrierung sollte der durchschnittliche Korrekturfaktor benutzt
werden.
7.4 Laborbestimmung des Z-Ratio
Die Materialbibliothek des Gerät enthält eine Liste der Z-Ratio Werte für häufig
verwendete Materialien. Für andere Materialien kann Z nach folgender Formel
berechnet werden:
[3]
[4]
mit:
d
f
= Dichte (g/cm3) der aufgedampften Schicht
µ
f
= Schermodul (Dyne/cm2) der aufgedampften Schicht
d
q
= Dichte des Quarzes (2.649 gm/cm3)
µ
q
= Schermodul des Quarzes (3.32 x 1011 Dyne/cm2)
Die Werte für Dichte und Schermodul für viele Materialien lassen sich aus einer
Reihe von Handbüchern entnehmen.
Laboruntersuchungen haben ergeben, dass die Z-Werte für Materialien in dünner
Schicht den Werten für Rohmaterial des gleichen Materials sehr nahe kommen.
Jedoch sind im Falle von Materialien, die eine hohe mechanische Belastung
verursachen, die Z-Werte dünner Schichten etwas kleiner als die für Rohmaterial.
Für Anwendungen, bei denen eine präzisere Kalibrierung erforderlich ist, wird
folgende Methode vorgeschlagen:
1 Die richtige Dichte ermitteln wie in Abschnitt 7.2 auf Seite 7-1 beschrieben.
2 Einen neuen Quarz einsetzten und dessen Startfrequenz Fco ermitteln. Der
S13 Befehl muss benutzt werden um diese Information zu erhalten (siehe
Kapitel 5, Externe Kommunikation ).
Z
d
q

q
d
f

f
------------
 
 
 
1
2
---
=
Z 9.378 10
5
d
f

f
 
-
1
2
---
 =