INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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XTC/3 Gebrauchsanleitung
HINWEIS: Wenn ein Multi-position Sensortyp gewählt wurde, muss ein Ausgang
für die Xtal Switch - Quarzwechsel 1 oder 2 Funktion vorgewählt
werden um Quarzwechsel auf die nächste Position zu ermöglichen. Für
das XTC/3S, siehe
Abschnitt 3.6.8.6, XTC/3S Sensorblende /
CrystalSwitch Ausgang, auf Seite 3-31
. Für das XTC/3M, siehe
Abschnitt 4.5.3, XTC/3M Ausgänge, auf Seite 4-29
.
SOURCE CONTROL VOLT. . . . . . . Quellenreglerspannung................0 bis +10,
0 bis -10, 0 bis +5,
0 bis -5, 0 bis +2.5, 0 bis -2.5
Betätigen der TOGL Taste geht durch die
Auswahl. Standardwert ist 0 bis -10.
RECORDER MODE. . . . Schreiber Modus...............Rate, Thickness- Dicke,
Power - Leistung, Rate Deviation - Ratenabweichung.
Betätigen der TOGL Taste geht durch die Auswahl.
Standardwert ist "Rate".
RANGE . . . . . . . Bereich................................................................100, 1000
Mit der TOGL Taste durch die Liste gehen. Standardwert ist "1000".
Rate wird am Bereichgrenzwert begrenzt. Dicke wird als Modulo des Bereichs
geschrieben, d. h. jedesmal wenn der Bereichgrenzwert überschritten wird,
geht der Schreiberausgang auf 0 und beginnt wieder anzusteigen um einen
Sägezahn zu produzieren. Der Schreiberausgang ist 0 bis +10 V.
Dieser Parameter wird ignoriert wenn der Schreiber Modus Power - Leistung
oder Rate Deviation - Ratenabweichung ist. Power - Leistung wird immer mit
100% Vollausschlag skaliert.
Vollausschlag für Rate deviation - Ratenabweichung wird immer mit +/-50
Angstroms/s skaliert. Gerät muss in Deposit und nicht in Stop sein um eine
Ratenabweichung anzuzeigen.
FILTER . . . . . . . . Smooth - Geglättet / Unfiltered - Ungeglättet (Rate)
Mit der TOGL Taste durch die Liste gehen. Standardwert ist "Unfiltered" Rate.
"Unfiltered" liefert den 1/4 s Messwert. "Smooth" liefert eine über 1 s gemittelte
Rate.
Dieser Parameter wird ignoriert wenn der Schreibermodus Thickness - Dicke,
Power - Leistung, oder Rate deviation - Ratenabweichung ist.
AUDIO FEEDBACK. . . . Akustische Rückmeldung................Yes-Ja / No-Nein
Mit der TOGL Taste durch die Liste gehen. Standardwert ist "No" für keinen
Feedback. Schaltet die akustische Rückmeldung für die Frontplatte oder
Handfernbedienung ein oder aus.