5 "standard" status befehle, Standard" status befehle, siehe abschnitt, 5 auf seite 5-27 – INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch

Seite 139: Abschnitt 5.2.2.5 auf seite 5-27

Advertising
background image

5 - 27

IP

N 07

4-

44

6-

P5

A

XTC/3 Gebrauchsanleitung

Befehl ID = 1 "Schichtliste"

Parameter Liste = <Anzahl von Schichten> <Schicht 1> <Schicht 2> …
<Schicht n>

Anzahl von Schichten = <2 Bytes> Anzahl von Schichten in diesem Prozess

Schicht n = Film Nummer für diese Schicht zu benutzen (1 – 32)

n = Anzahl von Schichten

Befehl ID = 2 "Name"

Parameter Liste = <Prozess Name>

Prozess Name = <Zeichenkette> maximum 15 Zeichen, Zeichen sind
beschränkt auf Hex 20 bis Hex 7E inklusive, plus Null terminierendes Zeichen.

Befehl ID = 3 "Spezielle Schicht"

Parameter Liste = Schicht zu aktualisieren <2 Bytes>

Parameterwert = Film Nummer für Schicht die programmiert wird
<Byte> (1 – 32)

Antwort:

Keine (Nur Header und Trailer)

5.2.2.5 "Standard" STATUS Befehle

Befehl:
S <Befehl ID> (<Aktion Wert>)
Befehl ID = <Byte> siehe “Beschreibung” nach Antwort Format
Aktion Wert = <Byte> S0 benötigt dass ein Zeitgebertakt übertragen wird
Antwort:
<Byte|Integer|Float>(<Byte|Integer|Float>…<Byte|Integer|Float>

Advertising