INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 36)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
zusätzlichen Einsatz von speziellen Abschirmungen oder optionalen
Einrichtungen (“Material Direktor”) zur Ausrichtung des Materialflusses möglich
sein.
2.1.3 Installation des Regelgerät
Das Schichtdickenmessgerät ist für den Einbau in ein Gestell vorgesehen mit der
Rack Mount Einbau Option (IPN 780-702-G1). Es kann jedoch auch auf einem
Tisch betrieben werden. Die 2-Unit Rack Mount Einbau Option (IPN 780-702-G2)
erlaubt zwei Geräte nebeneinander zu montieren.
Ganz allgemein ist es empfehlenswert, das Schichtdickenmessgerät so
anzuordnen, dass die Länge der externen Verdrahtung möglichst kurz gehalten
wird.
2.2 Vermeidung elektrischer Störungen
Durch eine sorgfältige Beachtung einfacher Regeln beim Einbau der Elektrik
lassen sich viele Probleme aufgrund elektrischer Störungen vermeiden.
Zur Aufrechterhaltung des erforderlichen Schirmungsgrades und der internen
Erdung und zur Sicherstellung eines sicheren und ordnungsgemäßen Betriebs
muss das Gerät so betrieben werden, dass alle Abdeckungen sich an ihrem Platz
befinden und mit den vorgesehenen Befestigungsmitteln gesichert sind.
HINWEIS: Beim Einsatz des Gerät in Verbindung mit einem
Hochfrequenzsputtersystem sollte die Leitung zwischen Gerät und
Oszillator so weit als möglich von den Hochfrequenzleitungen entfernt
verlegt werden. Einstreuungen von der
Hochfrequenzübertragungsleitung können sporadisch zu scheinbaren
Quarzausfällen führen.
2.2.1 Herstellung und Überprüfung der Schutzleiterverbindung
Falls eine Erdung erforderlich ist, wird folgende Vorgehensweise empfohlen:

Sofern es die Erdbedingungen erlauben, 2 ca. 3 m lange mit Kupfer verkleidete
Stahlstäbe in einem Abstand von ca. 2 m in die Erde eintreiben. Zur
Verbesserung der Erdung eine Kupfersulfat oder Salzlösung drumherum
ausgießen. Eine Messung von nahezu Null Ohm zeigt an, dass eine
ausreichende Erdung erreicht wurde.
 Die Verbindungen zu dieser Erde so kurz wie möglich ausführen.
2.2.2 Schutzleiteranschlüsse
Es gibt zwei Schutzleiteranschlüsse, beide müssen vorhanden sein: