INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
<Eingang Definition>
Für Eingang Nummer 255:
<Eingang 1 Definition> <Eingang 2 Definition> … <Eingang 9 Definition>
Eingang Definition = < Byte >Wie unten kodiert
0 Blank (Eingang nicht benutzt)
1 Start
2 Stop
3 End Deposit
4 RateWatcher Halt Auslösen
5 RateWatcher Halt Sperren
6 Crystal Fail- Quarzausfall Sperren
7 Dicke Nullen
8 Soak 2 Hold-Halt
9 Crucible-Tiegel 1 Gut
10 Crucible 2 Valid
11 Reset
12 Select Prozess 1-4, 2 Bits* (Prozess 1-4 Selektieren)
13 (Select Prozess 1-4, 2 Bits, Bit 2)
14 Select Prozess 1-16, 4 Bits*
15 (Select Prozess 1-16, 4 Bits, Bit 2)
16 (Select Prozess 1-16, 4 Bits, Bit 3)
17 (Select Prozess 1-16, 4 Bits, Bit 4)
18 Select Prozess 1-64, 6 Bits*
19 (Select Prozess 1-64, 6 Bits, Bit 2)
20 (Select Prozess 1-64, 6 Bits, Bit 3)
21 (Select Prozess 1-64, 6 Bits, Bit 4)
22 (Select Prozess 1-64, 6 Bits, Bit 5)
23 (Select Prozess 1-64, 6 Bits, Bit 6)
24 Select Prozess 1-99, 7 Bits*
25 (Select Prozess 1-99, 7 Bits, Bit 2)
26 (Select Prozess 1-99, 7 Bits, Bit 3)