INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 70)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
3.6.3 Control Delay- Regelverzögerung
Wenn die Quellenblende zu Beginn der Beschichtung öffnet, gibt es oft einen
deutlichen Ratensprung wegen der plötzlichen Heizbelastung die am Quarz
ankommt. Normalerweise gleicht sich der Quarz über die nächsten mehreren
Sekunden aus und wird wieder stabil. Die Control Delay-Regelverzögerung
kompensiert die momentanen Ratensprünge für eine programmierte Zeitdauer und
der Quellenleistungsregler hält den Regelkreis stabil.
3.6.4 Shutter Delay- Blendenverzögerung
Dieser Parameter sichert dass kein Material auf das Substrat aufgedampft wird bis
die Rate bestimmten Kriterien entspricht. Das Quellenblende Relais bleibt in
seinem normalen Zustand und das Sensorblende Relais ist aktiv. Der Sensor, der
so plaziert sein muss dass er den Materialdampf trotz geschlossener
Quellenblende erhält, liefert die Ratenregelung. Die Ratenregelung muss
innerhalb dem Größeren von +/-5% oder +/- 0.5 Å/s der gewünschten Rate für 5 s
erreicht werden bevor das Gerät in den DEPOSIT Status geht, die Quellenblende
öffnet und so das Substrat einer gut geregelten Rate des Materialsdampfes
ausgesetzt ist. Wenn die gewünschte Ratenregelung nicht innerhalb von 60 s
erreicht wird, erscheint die "Delay Failure" -Verzögerungsfehler Alarm Meldung.
Falls "Stop on Alarms" auf "Yes" gesetzt war, geht der Layer gleichzeitig in STOP.
3.6.5 Aufdampfratenrampentrigger für die endgültige Schichtdicke
Um diese Art der Filmtermination zu erstellen, wird der Wert für die Rate des New
Rate Parameter auf 0.1 Å/s programmiert. Wenn die Ratenrampe endet, geht das
Filmprogramm weiter als ob die Final Thickness Grenze-Endschichtdicke erreicht
wäre.
Während eine Ratenrampe abläuft, wird der interne Wert des Ratenparameter
andauernd mit der Ratenrampe verglichen und angepasst.
HINWEIS: Wenn der Film in Time- Power geht, wir die Ratenrampe nicht
durchgeführt und der Film wird mit der programmierten Final
Thickness-Enddicke vollendet.
3.6.6 Transfer Sensor
Diese Funktion erlaubt die Benutzung eines zweiten Sensor, genannt der
"Transfer" Sensor, um Ratenregelung während der Shutter
Delay-Blendenverzögerung Phase zu erstellen bevor dieser in die Deposit Phase
geht, danach wird zu dem Film Sensor bei der Deposit Phase zurückgeschaltet.
Die Funktion wird in der Option Wahlfläche der Film Parameter Anzeige aktiviert.
Die Delay-Verzögerung Option muss auf "Shutter Delay"-Blendenverzögerung
oder "Both" -Beide gesetzt sein um die Transfer Sensor Funktion zu ermöglichen.
Wenn Ratenregelung nicht erreicht wird,
siehe Seite 4-14 , erscheint die "Delay