INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 108)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Die festen Funktionen der Eingänge 1 bis 9 sind auf dem oberen Teil der Anzeige
dargestellt und der Status der festen Ausgänge wird auf dem unteren Teil gezeigt.
Aktive Ausgänge sind hervorgehoben.
4.5.2 XTC/3M Eingänge
Abbildung 4-22 Inputs Anzeige 1 (nur XTC/3M)
Abbildung 4-23 Inputs Anzeige 2 (nur XTC/3M)
Im XTC/3M können die 9 Eingänge über diese Anzeige programmiert werden.
Auf der rechten Seite der Parametertafel ist eine Spalte; diese stellt dar wie die
Eingänge aktuell programmiert sind. Eingänge die nicht definiert sind haben eine
Leerstelle.
Die scrollbare Liste der möglichen Eingangfunktionen wird auf der linken Seite der
Parametertafel angezeigt. Die Pfeiltasten erlauben Navigation durch diese Liste.
Eingabe einer Nummer (1-9), gefolgt mit der ENTER Taste, ordnet dieser
Eingangnummer die gewählte Eingangfunktion zu. Die Anzahl der Eingänge, die
derselben Funktion zugeordnet werden ist nicht begrenzt, außer im Fall "Sel
Prozess (XX)" der nur einmal zugeordnet werden kann.
Inputs
|
|
| <Blank> 1 Start
| Start 2 Stop
All I/O| End Deposit 3 End Deposit
| RW Initiate 4 RW Initiate
Inputs | RW Inhibit 5 RW Inhibit
| XtalFailInibt 6 XtalFailInibt
Relay | Zero Thick 7 Zero Thick
| Soak 2 Hold 8 Soak 2 Hold
TTL | Cruc 1 Valid 9 Cruc 1 Valid
| Cruc 2 Valid
| <More>
Inputs
|
|
| <Previous> 1 Start
| Reset 2 Stop
| Sel Process (4) 3 End Deposit
All I/O| Sel Process (16)4 RW Sampl Init
| Sel Process (64)5 RW Sampl Inhib
Inputs | Sel Process (99)6 XtalFailInhibit
| Switch Crystal 7 Zero Thick
Relay | Non-Dep Hold 8 Soak 2 Hold
| Zero Film Time 9 Cruc 1 Valid
TTL | Start Inhibit
| Soak 1 Hold
|