INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 69)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
3.5.1.3 Wiederherstellung nach "STOPS"
Ein unterbrochener Prozess kann nach einem STOP komplett vollendet werden
ohne dass Film oder Prozess Parameter programmiert werden müssen.
Wiederherstellung nach einem STOP (betätigt vom Benutzer oder irgend einem
Systemfehler) benötigt nur dass ein START Befehl gegeben wird. Wenn der Stop
durch einen Systemfehler verursacht wurde, wie z.B. ein Quarzausfall, muss
dieser Fehler behoben werden bevor der START Befehl angenommen wird. Der
Film in Bearbeitung zur Zeit des STOP wird wieder vom Anfang durchgeführt, aber
die angezeigte Dicke wird nicht genullt beim Übergang in den DEPOSIT Status.
Die kumulierte Schichtdicke die beim Eintritt der STOP Funktion ermittelt wurde
wird beim Wiedereintritt in die DEPOSIT Phase bis zum Ende des Prozesses
weitergeführt und der Prozess normal abgeschlossen.
Wenn die Wiederherstellung wie oben beschrieben nicht möglich ist, kann der
Prozess zum Beginn von Layer 1 zurückgesetzt werden mit dem RESET Befehl
bevor der START Befehl verwendet wird. Der RESET Befehl kann durch
Betätigung der Frontpanel RESET Taste, über die digitalen I/O, oder über die
Kommunikationschnittstelle durchgeführt werden.
3.6 Besondere Eigenschaften
3.6.1 Einen Prozess Automatisieren
Ein Prozess kann programmiert werden, dass dieser vollständig ablaufen kann,
ohne zwischen den Schichten die START Taste drücken zu müssen. Ein Prozess
lässt sich mit Hilfe einer der drei nachstehend beschriebenen Methoden
automatisieren:
1 Autostart Next Layer (nur XTC/3M): In der Prozesswahlfläche in der General
Parameter Anzeige diese Option auf Yes setzten mit der TOGL Taste.
2 Kommunikationschnittstelle: Ein externer Computer kann so programmiert
werden um den Status eines Prozesses zu überwachen und den START Befehl
wenn nötig auszugeben (siehe Kapitel 5,
Externe Kommunikation .).
3 Digitale Eingangverbindung: Ein Digitaleingang kann aktiviert werden um einen
START Befehl auszulösen (siehe
Abschnitt 4.5.1 auf Seite 4-27 .)
3.6.2 Ion Assisted Deposition
Diese Option aktiviert den zugeordneten Ausgang wenn der aktuelle Film in
Bearbeitung in Deposit ist und der "Ion Assist Deposit" Parameter in der
Optionwahlfläche der Film Parameter Anzeige auf Yes gesetzt ist.