INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 107)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Wenn die Parametereingabe gesperrt ist, erscheint die "L Lock" oder "R Lock"
Meldung in der oben rechts Ecke. Parameterwerte werden gezeigt aber können
nicht verändert werden. Die Inputs, Relay, und TTL (Output) Anzeigen können
nicht programmiert werden.
4.5.1 XTC/3S Eingänge und Ausgänge
Im XTC/3S wird der fixierte I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang) auf der I/O
Map Anzeige dargestellt. Die Zuordnung der 9 fixierten Eingänge entspricht
der Standardzuordnung im XTC/2. Siehe auch
Abschnitt 4.4.2.1, XTC/3S
Film Select - Filmwahl Input Option, auf Seite 4-23 für Eingänge.
Alle Relais (1 bis 12) und TTL Open Collector Ausgänge (13 bis 20) sind den
angezeigten Funktionen fest zugeordnet. Diese Zuordnungen sind identisch mit
der Standardzuordnung im XTC/2, siehe
Abschnitt 2.3.3.2.1 auf Seite 2-11 .
Abbildung 4-20 XTC/3S I/O Map Anzeige, Standard Input Option
Abbildung 4-21 XTC/3S I/O Map Anzeige, Film Select Option
I/O MAP
| 1 Start 5 RW Sampl Inhib
| 2 Stop 6 XtalFail Inhibit
| 3 End Deposit 7 Zero Thick
| 4 RW Sampl Init 8 Soak 2 Hold
All I/O | 9 Cruc 1 Valid
| 1 Source Shut 1 7 Thick Setpoint
| 2 Source Shut 2 8 Soak 2
| 3 Sensor Shut 1 9 Xtal Fail
| 4 Sensor Shut 2 10 Alarms
| 5 Stop 11 Source in use
| 6 End of Process 12 Final Thick
|13 Cruc Src 1 Bin 17 Cruc Src 1 Bin
|14 Cruc Src 1 Bin 18 Cruc Src 1 Bin
|15 Cruc Src 1 Bin 19 Cruc Src 1 Bin
|16 Cruc Src 1 Bin 20 Cruc Src 1 Bin
I/O Map
| 1 Start 5 Film Select MSB
| 2 Stop 6 Film Select
| 3 End Deposit 7 Film Select
| 4 Reset 8 Film Select LSB
All I/O | 9 Cruc 1 Valid
| 1 Source Shut 1 7 Thick Setpoint
| 2 Source Shut 2 8 Soak 2
| 3 Sensor Shut 1 9 Xtal Fail
| 4 Sensor Shut 2 10 Alarms
| 5 Stop 11 Source in use
| 6 End of Process 12 Final Thick
|13 Cruc Src 1 Bin 17 Cruc Src 1 Bin
|14 Cruc Src 1 Bin 18 Cruc Src 1 Bin
|15 Cruc Src 1 Bin 19 Cruc Src 1 Bin
|16 Cruc Src 1 Bin 20 Cruc Src 1 Bin