1 alarme, 2 stops – INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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XTC/3 Gebrauchsanleitung
3.5.1.1 Alarme
Die folgenden Zustände werden vom Gerät als ALARM erkennt und führen zur
Schließung des ALARM Relais (wenn zugeordnet):
Tiegelwechsel ist nicht vom CRUC VALID Eingang innerhalb 30 s bestätigt.
Ratenregelung nicht erreicht während den ersten 60 s des SHUTTER
DELAY-Blendenverzögerung (oder 20X TIME CONSTANT-Zeitkonstante falls
größer).
Rate war außerhalb dem Regelbereich in DEPOSIT für 60 s (oder 20X TIME
CONSTANT falls größer). Außerhalb dem Regelbereich ist definiert als ein
Ratenfehler > 0.5 Å/s und > 5% von der gewünschten Setpoint Aufdampfrate.
Die Quellenleistung hat den "Maximum Power" Parameter, der in der
Source-Quellewahlfläche in der Film Parameter Anzeige eingegeben wird,
ununterbrochen für 5 s überschritten.
3.5.1.2 Stops
Die folgenden Aktionen oder Zustände verursachen den STOP Status. In diesen
Fällen erscheint die STOP Meldung auf dem XTC/3 und die Schließung des STOP
Relais (wenn zugeordnet):
Absichtliche oder unabsichtliche Unterbrechung von Netzstrom, angezeigt
durch die "Power Loss" Meldung.
Die "Switcher Fail" Meldung erscheint als Resultat eines Fehlers eine gute
Position in einem Multi-position Sensor zu erkennen.
Betätigung der STOP Taste auf der XTC/3 Frontplatte oder Fernbedienung.
STOP Befehl über Kommunikationschnittstelle senden.
Externen STOP Eingang aktivieren.
Ein CRYSTAL FAIL - Quarzausfall erkannt während allen Pre-Deposit Phasen
(wenn Quarzwechsel nicht möglich ist).
Ein CRYSTAL FAIL - Quarzausfall erkannt während dem DEPOSIT Status
wenn der "Time Power" Parameter (Option Wahlfläche auf der Film Parameter
Anzeige) ist auf No gesetzt (wenn Quarzwechsel nicht möglich ist).
Nach den POST-DEPOSIT Phasen eines Layer wenn der DEPOSIT Status die
Beschichtung in TIME POWER vollendet.
Alle ALARM Zustände in
oben beschrieben wenn die "Stop
on Alarms" oder "Stop on Max Power" Parameter auf Yes gesetzt wurde
(Prozesswahlfläche in der General Parameter Anzeige).