INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 90)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
COUNTS-Zähler . . . . . . 0 bis 99
Bestimmt die Anzahl der Messungen die außerhalb der erlaubten Prozent liegen
müssen bevor Quarzausfall ausgelöst wird. Wenn die Ratenabweichung relativ zu
der programmierten Rate größer als der programmierte Grenzwert ist, wird der
"Counts"-Zähler Wert inkrementiert. Wenn die Ratenabweichung unter dem
programmierten Grenzwert ist, wird der "Counts"-Zähler Wert dekrementiert.
"Counts" kann nicht negativ werden. Wenn "Counts" den programmierten Wert
überschreitet, löst das Gerät automatisch einen Quarzwechsel aus, vollendet den
Prozess in TIME-POWER oder stoppt den Prozess. Die Ratenabweichung wird an
jeder einzelnen Ratenmessung während der Aufdampfphase berechnet, d.h. alle
250 ms. Beim Eingang in Deposit wird der Quality Zähler für eine Dauer von vier
mal der Time Constant-Zeitkonstante plus die Dead Time-Totzeit verzögert um zu
erlauben dass die Regelschleife stabil ist. Der Q Count-Zähler in der Operate
Anzeige zeigt "Delay" bei Pre-Deposit, und während der Verzögerungszeit am
Anfang von Deposit.
Der Standardwert ist 0, womit die Funktion außer Kraft ist..
HINWEIS: Nach einem Quarzausfall wegen Überschreitung des
"Counts"-Zählerwerts kann der Crystal Fail Status durch Quarzersatz
oder Betätigen der TOGL Taste in der Sensors Anzeige mit dem Cursor
auf "Clear S & Q" gelöscht werden.
4.2.5 Source / Quellen Parameter
Abbildung 4-5 Quelle Film Programm Anzeige
SOURCE-Quelle . . . . . . 1, 2
Bestimmt welcher Source-Quellenausgang für die Regelspannung der Quelle für
diesen Film benutzt wird. Der Standardwert ist 1. Dieser Parameter kann nicht
geändert werden während der Film in Bearbeitung ist.
FILM NAME
| Film Number 1
|
Pre/Post |Source 1
|Crucible 0
Deposit |
|Control Gain 10.00
Sensor |Time Constant 1.0 sec
|Dead Time 1.0 sec
Source |Maximum Power 100 %
|
Option |Density 1.00 gm/cc
|Z-Ratio 1.000
40.0
A/S
183.6
KA
0.0
%