INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
Tabelle 5-4 "Standard" Status Befehle
"Standard"
Befehl ID
Beschreibung
Antwort:
Beschreibung (Data Format)Einheit-Detail
0
(0x00)
Prozess
Information
Gibt das folgende für den Zeitgebertakt
Sensor Status (1 Byte)
Bit 0 - 0 = Gut, 1 = Quarzausfall
Bit 1 - 0 = Not Switching, 1 = In Quarzwechsel
Bit 2 - 0 Gute Messung, 1 = Ungültige Messung
Status (1 Byte)
Aktiver Sensor (1 Byte)
Aktiver Quarz(1 Byte)
* Rate (Float) -Ein Sekundendurchschnitt
Dicke (Float)
Leistung (Float)
*Ratenabweichung (Float)
Frequenz (Int DDS Einheit). -Multiplizieren mit
0.0034924596 um zu Hertz umwandeln.
Gibt No Data wenn der abgefragte Zeitgebertakt
keine neue Daten zu senden hat.-
* Wenn in Stop oder nicht in Deposit, Rate und
Ratenabweichung geben Nullwerte.
1 (0x01)
* Aktuelle Rate
(Float) Å/s -1 s gleitender Durchschnitt-
2 (0x02)
Aktuelle Leistung
(Float) %
3 (0x03)
Aktuelle Dicke
(Float) kÅ
4
(0x04)
Aktueller Status
(Byte) - Kodiert wie folgend: -
0 = Ready-Bereit
1 = Tiegel Switch-Rotieren
2 = Rise 1-Anstieg
3 = Soak 1
4 = Rise 2-Anstieg
5 = Soak 2
6 = Shutter Delay-Blendenverzögerung
7 = Deposit-Aufdampfung
8 = Ratenrampe
9 = Manuell
10 = Zeit Leistung
11 = Leerlauframpe
12 = Idle-Leerlauf
5 (0x05)
Aktuelle Statuszeit
(Int) - Anzahl von s -
6 (0x06)
Aktive Schicht
(Int)
7 (0x07)
Aktiver Film
(Byte)
8 (0x08)
Aktiver Sensor
(Byte) ( 1 oder 2)