INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
5. Thermische Instabilität:
Starke Schwankungen in
der Schichtdickenanzeige,
während die
Aufdampfquelle sich
aufwärmt (normalerweise
verringert sich dabei die
angezeigte Schichtdicke)
und nach Beendigung des
Aufdampfvorgangs
(normalerweise erhöht
sich dabei die angezeigte
Schichtdicke).
a. Unzureichende
Wasserkühlung /
Kühlwassertemperatur ist
zu hoch.
a.
Kühlwasserdurchflussmenge
prüfen; sicherstellen, dass die
Temperatur des Kühlwassers
unter 30 °C liegt. Siehe auch
Gebrauchsanweisung
für den Sensor.
b. Der Quarz ist zuviel Hitze
ausgesetzt.
b. Falls die Erwärmung auf der
Wärmestrahlung von der
Aufdampfquelle beruht, den
Sensor weiter von der Quelle
entfernt einbauen und zum
Erreichen einer besseren
thermischen Stabilität
Silberquarze einsetzen;
Wärmeschutzschild einbauen.
c. Der Quarz sitzt nicht
ordentlich im Halter.
c. Die Quarzauflagefläche im
Quarzhalter reinigen oder
polieren.
d. Aufheizung des Quarzes
durch hochenergetische
Elektronenflüsse (häufig
beim HF-Sputtern).
d. Sputter SensorMesskopf
verwenden.
e. Schlechter
Wärmeübergang von
der Wasserleitung auf den
Sensorkörper
(CrystalSix Sensor)
e. Immer ein neues Wasser-
leitungsrohr verwenden,
nachdem die Klemm-
vorrichtung vom Sensorkörper
entfernt wurde; falls kein Rohr
verfügbar ist, eine einzelne
Lage Aluminiumfolie zwischen
Kühlrohr und Sensorkörper
einfügen, falls der Prozess dies
zulässt.
f. Schlechter Wärme-
übergang (Ausheizbar).
(Bakeable UHV Sensor)
f. Aluminium oder Aluminium-
scheibe zwischen Quarzhalter
und Sensorkörper einsetzen.
Tabelle 6-2 Sensor Fehlersuche und Diagnosis (fortgesetzt)
SYMPTOM
URSACHE
BEHEBUNG