INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 187)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
6.5.1 Diagnostik Vorgang
Die folgenden Diagnostikprozeduren verwenden den Quarz Sensor Emulator um
den Grund für eine konstante Crystal Fail - Quarzausfall Nachricht zu untersuchen.
Das Symptom ist eine Crystal Fail Nachricht die vom Aufdampfregelgerät noch
nach Austausch des Überwachungsquarz mit einem “guten” Quarz angezeigt wird.
6.5.1.1 Messsystem Diagnostik Prozedur
1 Siehe auf Seite 6-26 . Das sechs-Zoll BNC Kabel von der Durchführung an
Stelle A entfernen.
2 Den Quarz Sensor Emulator an das sechs-Zoll BNC Kabel an Stelle A
anschließen.
 Wenn die XTAL Fail Nachricht nach ungefähr 5 s gelöscht wird, funktioniert
das Messsystem richtig. Das sechs-Zoll BNC Kabel wieder an die
Durchführung anschließen. Zu
Abschnitt 6.5.1.2 weitergehen.
 Wenn die XTAL Fail Nachricht weiter besteht, mit Schritt 3 weitergehen.
3 Das sechs-Zoll BNC Kabel vom Oszillator und vom Emulator lösen. .
4 Das sechs-Zoll BNC Kabel visuell untersuchen und prüfen dass die
Mittelkontakte richtig sitzen.
5 Mit einem Ohm-Meter die elektrischen Verbindungen am sechs-Zoll BNC
Kabel prüfen.
 Kontinuität zwischen den Mittelkontakten muss <0.2 Ohm sein.
 Isolation (>10 megohms) muss zwischen den Mittelkontakten und der
Steckerabschirmung bestehen.
 Kontinuität muss zwischen den Steckerabschirmungen bestehen.
Das sechs-Zoll BNC Kabel austauschen wenn es defekt ist und Schritt 2 dieser
Prozedur wiederholen.
6 Wenn das sechs-Zoll BNC Kabel nicht defekt ist, das Kabel wieder an den
Oszillator und den Quarz Sensor Emulator anschließen. Wenn die XTAL Fail
Nachricht weiter besteht, mit INFICON Service Kontakt aufnehmen (siehe
Abschnitt 1.3 auf Seite 1-5 ).