INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 99)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Wenn die Parametereingabe gesperrt ist, erscheint die "L Lock" oder "R Lock"
Meldung in der oben rechts Ecke. Parameterwerte werden angezeigt aber können
nicht verändert werden.
4.4.1 Prozess Parameter
Abbildung 4-13 XTC/3M Prozessanzeige
Abbildung 4-14 XTC/3S Prozessanzeige
PROCESS TO RUN . . . . . . . 1 bis 99 (nur XTC/3M)
Bestimmt welchen Prozess auszuführen. Nur Prozesse mit Layer-Schichten
dürfen eingegeben werden. Standardwert ist 1. Diese Funktion ist nicht im XTC/3S.
FILM TO RUN . . . . . . . . . . . 1 bis 9 (nur XTC/3S)
Bestimmt welchen Film auszuführen. Standardwert ist 1. Diese Funktion ist nicht
im XTC/3M.
General
| Process to run 1
|
| AutoStart Next Layer No
Process | Start Without Backup No
|
Hardware | Stop on Alarms No
| Stop on Max Power No
Comm Info|
| Dep/Etch Mod Deposit
|
| Test No
| Lock Code XXXX
40.0
A/S
183.6
KA
0.0
%
General
| Film to run 1
|
|
Process | Start Without Backup No
|
Hardware | Stop on Alarms No
| Stop on Max Power No
Comm Info|
| Dep/Etch Mod Deposit
|
| Test No
| Lock Code XXXX
40.0
A/S
183.6
KA
0.0
%