INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 84)

4 - 4
IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
Meldung. Die Parameter werden angezeigt und können nicht verändert werden bis
der Lock Code-Passwort eingegeben wird. Im Lock Zustand kann die Filmnummer
noch verändert werden so dass andere Filme sichtbar sind.
Die Film Parameter werden in den Pre/Post, Deposit-Aufdampfung, Sensor,
Source-Quelle und Option Anzeigen eingegeben.
4.2.2 Pre/Post Deposition Parameter
RISE TIME 1 -Anstiegszeit. . . . . . . 00:00 bis 99:59 min:s
Dieser Parameter definiert die Zeit, während der die Leistung für die
Aufdampfquelle von 0 bis zum Soak Power 1 Pegel hochgefahren wird. Der
Standardwert ist 00:00.
SOAK POWER 1-Halteleistung . . . 0.0 bis 100%
Dieser Parameter wird normalerweise auf einen Wert gesetzt wo das
Aufdampfmaterial anfängt zu schmelzen. Die Leistung wird von 0 auf den Soak
Power 1 Wert linear in Abhängigkeit von der durch die Anstiegszeit 1 (Rise Time 1)
definierten Zeitspanne hochgefahren. Der Standardwert ist 0%.
SOAK TIME 1-Haltezeit . . . . . . . . . 00:00 bis 99:59 min:s
Dieser Parameter definiert die Zeitdauer, während der die Leistungsabgabe auf der
Höhe von „SOAK POWER 1“ konstant gehalten wird. Der Standardwert ist 00:00.
RISE TIME 2-Anstiegszeit . . . . . . . 00:00 bis 99:59 min:s
Dieser Parameter definiert die Zeit, während der die Leistung für die
Aufdampfquelle bis zum Soak Power 2 Pegel hochgefahren wird. Der
Standardwert ist 00:00..
SOAK POWER 2-Halteleistung . . . 0.0 bis 100%
Dieser Parameter wird normalerweise so eingestellt, dass die Verdampfung der
Aufdampfquelle fast der gewünschten Aufdampfrate entspricht. Die Leistung wird
vom Soak Power 1 Wert linear in Abhängigkeit von der durch die Anstiegszeit 2
(Rise Time 2) definierten Zeitspanne zum Soak Power 2 Wert hochgefahren. Der
Standardwert ist 0 %.
SOAK TIME 2-Haltezeit . . . . . . . . . 00:00 bis 99:59 min:s
Dieser Parameter definiert die Zeitdauer, während der die Leistungsabgabe auf der
Höhe von „SOAK POWER 2“ konstant gehalten wird. Der Standardwert ist 00:00.